即矽微機電陀螺儀,絕大多數的MEMS陀螺儀依賴於相互正交的振動和轉動引起的交變科裡奧利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集機械元素、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源於一體的完整微型機電系統。
MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理,將旋轉物體的角速度轉換成與角速度成正比的直流電壓信號,其核心部件通過摻雜技術、光刻技術、腐蝕技術、LIGA技術、封裝技術等批量生產的。
它主要特點:
1、體積小、重量輕,其邊長都小於 1mm,器件核心的重量僅為1.2mg。
2、成本低。
3、可靠性好,工作壽命超過 10 萬小時,能承受1000g 的衝擊。
4、測量範圍大。
一百多年以前,萊昂·傅科發明陀螺儀是為了科學研究。如今,這個小東西卻讓我們的生活有了翻天覆地的改變。陀螺儀器不僅可以作為指示儀表,而更重要的是它可以作為自動控制系統中的一個敏感元件,即可作為信號傳感器。
根據需要,陀螺儀器能提供準確的方位、水平、位置、速度和加速度等信號,以便駕駛員或用自動導航儀來控制飛機、艦船或太空梭等航行體按一定的航線飛行,而在飛彈、衛星運載器或空間探測火箭等航行體的制導中,則直接利用這些信號完成航行體的姿態控制和軌道控制。
作為穩定器,陀螺儀器能使列車在單軌上行駛,能減小船舶在風浪中的搖擺,能使安裝在飛機或衛星上的照相機相對地面穩定等等。
作為精密測試儀器,陀螺儀器能夠為地面設施、礦山隧道、地下鐵路、石油鑽探以及飛彈發射井等提供準確的方位基準。
如果沒有它,就沒有飛機,沒有火箭,沒有現代生活,這恐怕是他的發明者都沒有想到的。小小的陀螺儀,讓我們的世界變得更美好。
在接下來的內容中,我們將更多地了解陀螺儀在國民生活應用中的表現。