蝕刻機的工作原理及應用範圍

2020-11-22 電子發燒友

蝕刻機的工作原理及應用範圍

發表於 2019-06-26 16:02:48

蝕刻指通過曝光製版、顯影后，將要蝕刻區域的保護摸去處，在蝕刻時接觸化學溶液，達到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。最早可用來製造銅版、鋅版等印刷凹凸版。蝕刻機可以分為化學蝕刻機及電解蝕刻機兩類。

它的基本原理是在真空低氣壓下，ICP 射頻電源產生的射頻輸出到環形耦合線圈，以一定比例的混合刻蝕氣體經耦合輝光放電，產生高密度的等離子體，在下電極的RF 射頻作用下，這些等離子體對基片表面進行轟擊，基片圖形區域的半導體材料的化學鍵被打斷，與刻蝕氣體生成揮發性物質，以氣體形式脫離基片，從真空管路被抽走。

化學蝕刻中是使用化學溶液，經由化學反應以達到蝕刻的目的，化學蝕刻機是將材料用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。

電蝕刻是利用金屬在以自來水或鹽水為蝕刻主體的液體中發生陽極溶解的原理，（電解的作用下）將金屬進行蝕刻，接通蝕刻電源，從而達到蝕刻的目的。

優點：無汙染，但只有蝕刻一個步驟無汙染是不行的，其他工序也必須無汙染，適合實驗生產、凹字小面積蝕刻。主要用做研究實驗機，或者簡單的在金屬上蝕刻標記，也稱為電打標。

缺點：蝕刻面不均勻，大面積腐蝕速度慢，不能用於量產，也不能做凸字大面積蝕刻，不能用做標牌的大批量生產加工。

蝕刻機主要應用於航空、機械、標牌工業中，蝕刻機技術廣泛地被使用於減輕重量（Weight Reduction）儀器鑲板，銘牌及傳統加工法難以加工之薄形工件等之加工。在半導體和線路版製程上，蝕刻更是不可或缺的技術。如今廣泛應用於金卡標牌加工、手機按鍵加工、不鏽鋼濾網加工、不鏽鋼電梯裝飾板加工、金屬引線框加工、金屬眼鏡腳絲加工、線路板加工、裝飾性金屬板加工等工業用途。

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