氣浮運動平臺之QFR系列氣浮旋轉臺

2021-01-09 煜熙自動化

在國家大力發展高端製造,鼓勵發展自主品牌的大背景下,由多年從事精密運動平臺研發和生產的技術人員共同組建成立。團隊具有多年核心部件研發經驗,擁有多種高端應用領域經驗,成熟的產品應用案例。經過多年精密運動平臺的技術積累和沉澱,已形成了一整套完備的精密運動平臺系統的研發和生產體系。特別在氣浮理論計算、實驗仿真分析、結構優化設計、精密集成組裝和測試等方面具備雄厚的實力。

背景介紹 BACKGROUND INTRODUTION

QFR 系列氣浮旋轉臺在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩定性和納米級跳動。QFR 的設計滿足生物檢測、晶圓檢測、高精度計量、X 射線衍射系統、光學檢測和製造以及 MEMS/ 納米技術設備製造等高端行業。

密封式設計 SEALED DESIGNING

對QFR 直驅旋轉臺進行了優化設計,使工作檯面降到最低,這種設計結構有效的降低了工作點的高度, 最大減少因與其他軸疊層引起的阿貝誤差。密封式 結構具有高剛度和大負載承重,不僅有較低的軸向 和徑向端跳誤差,而且傾角誤差比較小,由此產生 的面誤差明顯優於其它氣浮轉臺或氣浮主軸,有利 於各種應用。

非接觸式結構 NON-CONTACTSTRUTURE

QFR 採用無齒槽無刷電機和氣浮軸承,最大限度的提高了定位性能。電機採用先進的磁路設計,以最小的熱量產生高扭矩輸出,無齒槽設計固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射,這使得 QFR 非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉等應用。

高精度性能 HIGH PRECISION PERFORMANCE

氣浮轉臺採用精密圓光柵反饋,先進的驅動控制對光柵信號細分,解析度達 0.01 角秒,軸向跳動誤差

<80nm。

定製化設計 CUSTOM DESIGN

氣浮轉臺可安裝滑環,用於空間模擬裝置,MEMS 和慣性導航等應用。

註: 1. 空氣供應需清潔,乾燥至 0°F 露點,灰塵顆粒過濾≤0.25um 或純度 99.99% 氮氣。

2. 以上精度測量的測試位置在工作檯面中心以上 25mm 處,測試環境溫度 20±1℃,溼度 40%-60%RH.

深圳市煜熙科技有限公司面向全國各大高校、研究院及高端裝備製造企業提供最優的運動平臺系統及解決方案。

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