氣浮運動平臺之QFL3D系列三軸氣浮運動臺

2021-01-09 煜熙自動化

深圳市煜熙科技有限公司是在國家大力發展高端製造,鼓勵發展自主品牌的大背景下,由多年從事精密運動平臺研發和生產的技術人員共同組建成立。團隊具有多年核心部件研發經驗,擁有多種高端應用領域經驗,成熟的產品應用案例。經過多年精密運動平臺的技術積累和沉澱,已形成了一整套完備的精密運動平臺系統的研發和生產體系。特別在氣浮理論計算、實驗仿真分析、結構優化設計、精密集成組裝和測試等方面具備雄厚的實力。

深圳市煜熙科技有限公司面向全國各大高校、研究院及高端裝備製造企業提供最優的運動平臺系統及解決方案。

背景介紹 BACKGROUND INTRODUCTION

QFL3D 系列是目前我司製造的性能卓越,結構緊湊的三軸氣浮運動臺。廣泛應用於精密加工,測試測量,掃描、半導體及光子學對準等行業。由於非接觸式運動,精度高 和結構緊湊是行業內的理想選擇。

特點

非接觸式氣浮導軌結構

重複定位精度 ±75nm

微動步距 5nm

結構緊湊、精度高優化線纜管理系統

Z 軸低摩擦氣缸配重

根據需求可定製

直線臺設計 LINEAR STAGE DESIGNING

QFL3D 是一款非接觸式預負載氣浮直線臺,氣浮非接觸

式結構已經證明是精密應用中的理想選擇,適用於微納 製造,測試測量和光子學對準等應用,具有體積小,精 度高和外觀緊湊等特點,無論是微動步進,還是速度穩 定性的要求,QFL3D 都證明是最終的解決方案。

定製化設計 CUSTOM DESIGNING

根據用戶實際應用,可以選擇單軸,雙軸,三軸等多種結構,如單軸 Z 軸低摩擦氣缸配重結構,雙軸 T 形曲面加工結構和三軸間行程大小等都可以接受定製。為使阿貝誤差影響到最小,各軸也可以定製化,保證精度性能。

備註:

1.空氣供應需清潔,乾燥至 0°F 露點,灰塵顆粒過濾≤0.25um 或純度 99.99% 氮氣。

2.以上精度測量的測試位置在工作檯面中心以上 25mm 處,測試環境溫度 20±1℃,溼度 40%-60%RH.

管線優化管理 CABLE MANAGEMENT

經過多年的研究,線纜管理對精指標度有影響,我們精心優化管線彎曲半徑,防止動作過程中線纜的拉伸影響

到氣浮臺的性能,使用高質量的電纜,以確保無故障操作, 減少停機時間。同時使設備外觀更整潔,創造良好的作

業環境。

潔淨室兼容性 CLEAN ROOM COMPATIBILITY

氣浮軸承本質上與潔淨室環境兼容,高質量的無塵線纜管理系統也符合實驗室環境。

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    按其產生氣泡方式可分為:布氣法氣浮(包括轉子碎氣法、微孔布氣法,葉輪散氣浮選法等); 溶解空氣氣浮(包括真空氣浮法,壓力氣浮法的全溶氣式、部分溶氣式及部分回流溶氣式);電解氣浮法;生化氣浮法(包括生物產氣浮法,化學產氣氣浮)。
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