永康旋轉鈮靶材生產廠家

2020-11-22 邯鄲之窗

永康旋轉鈮靶材生產廠家

20世紀80年代,以集成電路、信息存儲、液晶顯示器、雷射存儲器、電子控制器為主的電子與信息產業開始進入高速發展時期,技術才從實驗室應用真正進入工業化規模生產應用領域。近10年來,濺射技術更是取得了突飛猛進的發展。相比PVD另一大工藝真空鍍膜,射鍍膜工藝可重複性好、膜厚可控制,可在大面積基板材料上獲得厚度均勻的薄膜,合力強等優點,已成為製備薄膜材料的主要技術。

顯示技術更迭發展,帶來顯示材料機會。預計2022年全球顯示面板整體規模將超1300億美元,LCD面板佔比約70%。中小尺寸OLED滲透率快速提升,大尺寸LCD佔據主流。LCD與OLED在生產過程均會用到偏光片、玻璃基板、靶材、光掩膜版、光刻膠等產品。其中,偏光片市場規模超過1100億,玻璃基板全球市場將達到310億以上,靶材市場有望達到550億以上,光學器件靶材:使用光學鍍膜改變光波傳導特性。光學器件需依靠光學鍍膜形成一層或多層的介電質膜和金屬膜,通過二者組成的膜系來改變光波傳導的特性,包括光的透射、反射、吸收、散射、偏振及相位改變,主要用到矽、鈮、二氧化矽、鉭等靶材。光學器件應用範圍非常廣泛。

高純濺射靶材製備的薄膜材料廣泛應用在:集成電路(半導體)、平板顯示器、太陽能電池、信息存儲、光學鍍膜等行業,對靶材基體材料的純度、晶粒取向、穩定性要求較高,壁壘和護城河明顯。全球高端靶材集中度高,國內廠商進口替代提速。濺射鍍膜技術起源於國外,所需要的濺射材料——靶材也起源發展於國外。國外靶材公司,在靶材研發生產方面已有幾十年的積澱。同時,隨著半導體工業技術創新的不斷深化,以美國、日本和德國為代表的半導體廠商加強對上遊原材料的創新力度,從而更大限度地保證半導體產品的技術先進性。當前中國靶材製造商在部分靶材製造工藝上已達到了國際先進水平,產品質量獲得國內外下遊廠商的認可;同時通過在下遊企業工廠附近建廠。靶材價格可能會比國外廠商低10%-15%,替代必要性和戰略意義明顯。

磁控濺射靶是真空磁控濺射鍍膜的核心部件,半導體晶片行業是金屬濺射靶材的主要應用領域之一,也是對靶材的成分、組織和性能要求高的領域。具體來講,半導體晶片的製作過程可分為矽片製造、晶圓製造和晶片封裝等三大環節,其中,在晶圓製造和晶片封裝這兩個環節中都需要用到金屬濺射靶材。隨著不同領域對膜層性能要求的提高,靶材種類越來越多,靶材成分越來越複雜,由純金屬發展為合金,但是有些優質薄膜對應的合金靶材是金屬間化合物,材料很脆,容易開裂,生產和加工困難。如何選擇一種技術難度小,容易生產,成本低,而又能滿足薄膜性能要求的靶材製造方法。據研究報告,2020年全球半導體產值下降了7.34%,僅有3913億美元。IDC預測顯示。80%,而此前預計的小幅增長2%。隨著國外持續蔓延,作為全球半導體產業中心的日韓和日子都不好過。

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