來源：每日財報
作者：劉雨辰
全球的靶材製造行業主要由幾家美、日大企業把持，在這一被「卡脖子」的領域，國產替代勢必要快速推進，重點關注有研新材和江豐電子
真空狀態下，用加速的離子轟擊固體表面，離子和固體表面的原子交換動量，使固體表面的原子離開固體並沉積在基底表面形成所需要的薄膜，這一過程稱為濺射。被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的源材料，通常稱為靶材。靶材是製備晶圓、面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關鍵材料。
WSTS（全球半導體貿易統計組織）的數據顯示，濺射靶材主要應用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導體等領域。其中，在所有的應用領域中，半導體晶片對濺射靶材的金屬材料純度、內部微觀結構等方面都設定了非常苛刻的標準，需要掌握生產過程中的關鍵技術並經過長期實踐才能製成符合工藝要求的產品。因此，半導體晶片對濺射靶材的要求是最高的，製造難度大，產品價格昂貴。
數據來源：公開資料整理
《每日財報》注意到，從產業格局來看，全球的靶材製造行業，特別是高純度的靶材市場，呈現寡頭壟斷格局，主要由幾家美、日大企業把持。相關數據顯示，日礦金屬是全球最大的靶材供應商，靶材銷售額約佔全球市場的30％，霍尼韋爾在併購Johnson Mattey、整合高純鋁、鈦等原材料生產廠後，佔到全球市約 20％的份額，此外，東曹和普萊克斯分別佔 20％和 10％。
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這些企業在掌握濺射靶材生產的核心技術以後，實施極其嚴格的保密措施，限制技術擴散，同時不斷進行橫向擴張和垂直整合，將業務觸角積極擴展到濺射鍍膜的各個應用領域，牢牢把握著全球濺射靶材市場的主動權，對於我國而言，靶材這一領域被嚴重卡脖子，國內靶材廠商主要聚焦在低端產品領域，在半導體、平板顯示器和太陽能電池等市場還無法與國際巨頭全面競爭，國產替代勢必要快速推進。
半導體用濺射靶材
半導體晶片行業是金屬濺射靶材的主要應用領域之一，也是對靶材的成分、組織和性能要求最高的領域。具體來講，半導體晶片的製作過程可分為矽片製造、晶圓製造和晶片封裝等三大環節，其中，在晶圓製造和晶片封裝這兩個環節中都需要用到金屬濺射靶材。
半導體晶片行業用的金屬濺射靶材種類包括銅、鉭、鋁、鈦、鈷和鎢等高純濺射靶材，以及鎳鉑、鎢鈦等合金類的濺射靶材。日本日礦金屬、東曹公司，美國霍尼韋爾、普萊克斯公司，這四家靶材製造國際巨頭，佔據了全球半導體晶片用靶材市場約90％的份額，國內靶材製造企業的代表江豐電子、有研新材等也在快速崛起，並已經在全球靶材市場上佔有了一席之地。根據之前的數據，半導體封測材料市場中濺射靶材約佔2.7％的份額，2018 年中國半導體封測材料銷售額為197億美元，那麼濺射靶材市場約5.31億美元。
從目前的情況來看，半導體晶片製造企業對其所需要的每一種濺射靶材，一般都會選擇三家左右的穩定供應商。從排名第一的供應商處的採購量最大，從排名第二的供應商處的採購量較小，而排名第三的供應商則基本相當於備胎。
據《每日財報》了解，業內有一個特別的規則，不同的半導體晶片製造企業對靶材合格供應商的認證模式各不相同。如果要進入日、韓等國家晶片製造企業的靶材供應商，則必須通過日、韓本國的中間商或者商社來間接供應，要進入英特爾的靶材供應商，則必須通過應用材料（AM）的推薦 ，要進入全世界最大的晶圓代工企業臺積電的靶材供應商，則需要通過其最終客戶（蘋果和華為等）的認可。除此之外，整個認證過程非常漫長和苛刻，一般至少需要2-3年以上，無形之中提高了行業壁壘，這也就意味著新進入者想要立足會面對非常大的考驗，寡頭壟斷的格局就是這麼形成的。
平板顯示用靶材
鍍膜是現代平板顯示產業的基礎環節，所使用的PVD鍍膜材料主要就是濺射靶材，其性能如解析度、透光率等都與濺射薄膜的性能密切相關。用於製作薄膜電晶體液晶顯示面板的金屬靶材以鋁靶、銅靶、鉬靶和鉬鈮合金靶為主，部分平板顯示企業也會用到鈦靶、鉭靶、鈮靶、鉻靶以及銀靶等。但由於各家企業所採用的濺射工藝不同，其所選的濺射靶材也有區別，比如說，京東方主要用銅靶、鋁靶、鉬靶和鉬鈮靶，韓國三星一般用鉭靶、鈦靶，但不用鉬鈮靶，中電熊貓用鈦靶，但不用鉬靶、鉭靶等。國內液晶顯示行業的市場規模一直在不斷擴大，從濺射工藝的發展趨勢來看，平板顯示行業對銅靶材的需求量將繼續呈上升趨勢。
毫無疑問，平板顯示用靶材領域依然由外資主導，以攀時、世泰科、賀利氏、愛發科、住友化學、JX 金屬等為代表的國外少數幾家跨國集團佔據主導地位。進一步展開來看，在鋁靶材領域，愛發科電子材料（ 蘇州）大約佔據國內50％左右的市場份額，住友化學也佔有一部分市場份額。本土企業中江豐電子從 2013年左右開始介入鋁靶材，目前已大批量供貨，是國產化鋁靶材的龍頭企業。銅靶材市場，愛發科電子材料（ 蘇州）幾乎具備壟斷地位，市場佔有率在80％以上。國內企業方面，有研新材具備高純銅原料生產能力，但沒有液晶顯示行業用的條形靶材生產，江豐電子從海外引進了高端人才，下大功夫開發高純銅原料和銅靶材，據稱即將批量生產。
平板顯示面板行業的快速增長為靶材廠商提供了廣闊的成長空間，面板廠商尤其是LCD對材料國產化存在迫切需求，國產靶材需求規模有望進入長期增長。
光伏電池用靶材
光伏領域對靶材的使用主要是薄膜電池和HIT光伏電池。其中光伏薄膜電池用靶材主要為方形板狀，純度要求一般在 99.99％（4N）以上，僅次於半導體用靶材。目前製備薄膜電池較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及 ITO 靶、AZO 靶（氧化鋁鋅）等，HIT電池主要使用ITO靶材作為其透明導電薄膜。
目前國內光伏電池主要以矽片塗覆型太陽能電池為主，薄膜電池以及HIT佔比較低，但是從目前的發展趨勢來看，未來HIT和薄膜電池增長潛力很大。目前全球薄膜電池量保持10％以上的增速，另一方面，國內對於HIT電池的投資熱情高漲，HIT也大概率會保持高速增長，產能有望從目前的2GW增長至2024年的100GW以上，相關機構做過測算，到2024年的時候，我國太陽能電池用靶材行業市場規模有望突破 70 億元。
最近輿論在討論中美脫鉤的問題，雖然各執己見，存在爭議，但從貿易戰開始到現在，經歷了各種各樣的問題，中興被制裁與華為事件給我們敲響了警鐘，在被其他國家卡脖子的領域內實現自主生產已經上升為國家戰略，晶片等核心技術產業亟需發展，國產替代已經逐漸成為共識。另一方面，貿易保護主義也給國內企業帶來了一定的機遇，濺射靶材組件的進口普通稅率為17％，增值稅率為13％，如果加徵關稅，將會提高海外靶材供應成本，有利於國產化靶材的發展和滲透率提升。
國內企業中重點關注有研新材和江豐電子。其中有研新材由原來以4-6寸為主的產品向12寸產品成功轉型，12 英寸靶材產品銷售量較2018年增長63％，高純鈷靶批量銷售，較2018年增長35％，靶材客戶端覆蓋中芯國際、大連 Intel、GF、TSMC、UMC、北方華創等多家高端客戶。江豐電子自成立以來就一直從事高純濺射靶材的研發生產，目前公司的超高純金屬濺射靶材產品已應用於世界著名半導體廠商的先端製造工藝，成為臺積電、中芯國際、海力士、聯華電子等客戶的主要供應商，在7納米技術節點實現批量供貨。