靶材,是濺射薄膜製備的源頭材料,又稱濺射靶材,特別是高純度濺射靶材應用於電子元器件製造的物理氣相沉積,它是半導體晶片製造中不可或缺的環節和材料。
但是半導體領域對靶材的要求非常高,對濺射靶材的金屬材料純度、內部微觀結構等方面都設定了極其苛刻的標準,需要掌握生產過程中的關鍵技術並經過長期實踐才能製成符合工藝要求的產品,因而有實力產出高純電子級靶材的企業與公司並不得多,也使得電子級靶材價格較為昂貴。
過去,半導體靶材這種高精尖的材料製造工藝一般是掌握在如住友化學、霍尼韋爾等美、日企業手上,整個行業呈現出寡頭壟斷的格局。這些企業在掌握濺射靶材生產的核心技術以後,實施極其嚴格的保密措施,限制技術擴散,同時不斷進行橫向擴張和垂直整合,將業務觸角積極擴展到濺射鍍膜的各個應用領域,牢牢把握著全球濺射靶材市場的主動權。
靶材市場各主要企業市佔率
(數據來源:半導體觀察、財通證券)
以霍尼韋爾為例,它是世界第二大濺射靶材供應商。2007年,霍尼韋爾抓住中國電子產業蓬勃發展的機會,將電子材料總部遷往上海。此後,便一發不可收拾。2014年,霍尼韋爾研發出等徑角塑型(ECAE)新型靶材,具有更高的材質硬度和更少的雜質顆粒,牢牢把控著國內市場的高端領域。
然而,中國的靶材市場並非完全是外資企業的天下,863計劃、02專項基金等加速了國產濺射靶材替代外資品牌的進程。目前,國內靶材廠商雖然主要聚焦在低端產品領域,在半導體、平板顯示器和太陽能電池等市場還無法與國際巨頭全面競爭,但是,依靠國內的巨大市場潛力和利好的產業政策,以及產品價格優勢,它們已經在國內市場佔有一定的市場份額,並逐步在個別細分領域搶佔了部分國際大廠的市場空間。
國內現有的靶材企業
(資料來源:新材料在線)
國內靶材嶄露頭角,呈現定點突破局面,正是需要社會資金大力投入奮力追趕之關鍵時刻。隨著大基金二期成立,靶材行業的資金問題得以解決。大基金總裁丁文武表示二期將向材料設備端傾斜,與一期形成互補。近段時間,隨著外部環境的變化,國產替代刻不容緩,我們相信,國家在半導體材料領域國產化的投入將會越來越大,濺射靶材行業將迎來春天。
A股上市公司中,半導體靶材領域有兩家比較重要的上市公司。其一是江豐電子。目前,江豐電子的超高純金屬濺射靶材產品已應用於世界著名半導體廠商的先端製造工藝,在7納米技術節點實現批量供貨,而且已經成為臺積電、中芯國際、海力士、聯華電子等客戶的主要供應商。央視紀錄片《大國重器》也曾前去公司拍攝,並披露公司產品已經得到日本尖端公司的認可。可以說,公司是靶材領域的不二龍頭。
江豐電子營收與毛利率
(資料來源:公司公告)
其二是有研新材,其靶材製造業務主要是通過其子公司有研億金開展。有研億金是國內規模宏大、門類齊全、技術能力一流的高純金屬濺射靶材製造企業,也是國內屈指可數具備從超高純原材料到濺射靶材、蒸發膜材垂直一體化研發和生產的產業化平臺。公司高純鈷靶已實現批量銷售,新研發的14款Al靶已大多數通過客戶驗證,8-12英寸銅靶即將進入批量供貨,12英寸Ti靶新品已於多家客戶小批量供貨,而且公司的12英寸Ti靶新品已於多家客戶小批量供貨。公司客戶端覆蓋中芯國際、大連Intel、GF、TSMC、UMC、北方華創等多家高端客戶,在半導體靶材領域具備一定的競爭實力。
有研億金歷年淨利潤(萬元)
(數據來源:公司公告)
越聲理財投研部 呂生燊
2020.05.20
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