資陽磁控濺射靶材厚度

2021-01-15 邯鄲之窗

資陽磁控濺射靶材厚度

濺射靶材是用濺射法沉積薄膜的原材料,主要應用於面板顯示、半導體和磁記錄薄膜太陽能領域。特別是高純度濺射靶材應用於電子元器件製造的氣相沉積工藝,是製備晶圓、面板、太陽能電池等表面電子薄膜的關鍵材料。所謂濺射,是製備薄膜材料的主要技術,也是PVD的一種。它通過在PVD設備中用離子對目標物進行轟擊,使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出,從而在晶圓表面沉積,濺鍍形成金屬薄膜,其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。相比PVD的另一種工藝——真空鍍膜,濺射鍍膜工藝可重複性好、膜厚可控制,可在大面積基板材料上獲得厚度均勻的薄膜,所製備的薄膜具有純度高、緻密性好、與基板材料的結合力強等優點。已成為製備薄膜材料的主要技術。

蒸發真空鍍膜設備分為立式和臥式。蒸發真空鍍膜成膜速率快,膜層牢固,色澤鮮亮,膜層不易受汙染,無須環保部門審批,可獲得緻密性好、純度高、膜厚均勻的膜層,不產生廢液、廢水,可避免對環境的汙染,是大規模生產的理想設備。離子真空鍍膜機是當今世界上用於表面塗裝PVD膜層的先進專用設備,運用PLC及觸控螢幕實現自動化邏輯程序控制操作,設備結構合理、外觀優雅、性能穩定、操作達到人機對話,簡便。塑膠鍍膜工藝變化詳細解析塑料材料用得越來越多,也大多用在建築材料上,工業化的產品催生了更多真空鍍膜設備,雖然塑料可以在許多場合代替金屬,但顯而易見缺乏金屬的質感,為此,需要採用一定的方法,在塑料表面鍍上一層金屬,一種方法是採用類似化學鍍和電鍍的方法。

濺射靶材行業迅速增長,市場集中度較高PVD技術已成為目前主流鍍膜方法。國內靶材生產企業發展迅速。濺射靶材為目前市場應用量較大的PVD鍍膜材料。全球濺射靶材市場未來穩定增長,2020年將達200億美元。濺射靶材主要應用在平板顯示、光伏電池、半導體等領域。半導體是對靶材組成、結構和性能要求較高的領域。電子靶材新材料:鉬鈀材、ITO靶材國產加速替代進口。靶材主要用於PVD鍍膜,廣泛應用於顯示、晶片、存儲、光伏和工業等領域。按照2020年國內液晶面板產能,鉬靶材和ITO靶材需求分別為2,163噸和1,375噸,對應市場分別為9.12億元和27.36元。鉬靶材已經國產並大規模替代。ITO則仍高度依賴原裝進口。全球靶材市場主要由日美公司所掌控,市場集中度較高。

直接在塑料表面進行真空噴鍍金屬—即在真空狀態下,將金屬融化後,以分子或原子形態沉積在塑料表面形成金屬膜。真空噴鍍金屬需要與塑料表面底漆之間的良好配合,底漆的厚度通常為10—20μm,主要作用是防止塑料中水、有機溶劑、增塑劑等排出影響金屬附著。要求塗層硬度高、底漆具有可以修飾塑料缺陷,能提供一個光滑、平整的平面以利於真空鍍的性能,並與塑料底材和所鍍金屬附著牢固。通常選用雙組分常溫固化的聚氨酯和環氧塗料,低溫烘烤的氨基塗料以及熱塑性丙烯酸酯塗料。金屬鍍膜在空氣中容易氧化變暗,同時還存在細微的真空等缺陷,所以要再塗上一層5—10μm的保護面漆。通常可採用丙烯酸酯清漆、。當底漆採用的是熱塑性丙烯酸酯塗料時。為防止面漆溶劑通過鍍膜缺陷溶蝕底漆,可以選用弱溶劑、快乾性的面漆,如丙烯酸改性醇酸清漆、聚乙烯醇縮丁醛清漆、氨酯油等。

中國晶片究竟在哪個環節被美國「卡」了脖子?數據表明,2019年,我國晶片自給率僅為30%左右。根據有關部門的發展規劃,2025年,中國預計將晶片自給率提升到70%,這差不多是當下美國等晶片大國的平均水平。作為一個龐大且複雜的行業,晶片行業擁有一條超長的產業鏈。在靶材領域,日本的日礦金屬、霍尼韋爾、東曹、普萊克斯佔據了大部分市場。相比之下,而且導致了對於日本半導體材料的高度依賴。其整體可分為設計、製造、封裝、測試四大環節。除了在設計領域,其他三個環節,尤其是在製造環節,國內廠商的能力仍有極大的提升空間。由於半導體濺射靶材市場與晶圓產量存在直接關係,以中國大陸晶圓廠產能佔全球比例為15%計算。2018年中國半導體濺射靶材市場約1.2億美元。隨著晶圓廠產能向中國轉移,半導體用靶材市場將達到1.5億美元。同比增長25%。

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    第四步用高壓低水氣的氬氣衝洗靶材,以除去所有可能在濺射系統中會造成起弧的雜質微粒。三、靶材安裝靶材安裝過程中最重要的注意事項是一定要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果冷卻壁的翹曲程度嚴重或背板翹曲嚴重會造成靶材安裝時發生開裂或彎曲,背靶到靶材的導熱性能就會受到很大的影響,導致在濺射過程中熱量無法散發最終會造成靶材開裂或脫靶。為確保足夠的導熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請注意要仔細檢查和明確所使用濺射槍冷卻壁的平整度,同時確保密封圈始終在位置上。
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    真空鍍膜機磁控濺射鍍膜工藝,已經涉及到各個行業。在光學行業中,很多數碼產品都是通過光學磁控濺射技術來進行鍍膜的,為其改變使用性能及用途。裝飾行業,我們身邊用的衛浴、餐具、裝飾品等產品,也有通過磁控濺射技術的鍍上一層薄薄的膜層,為其改變美觀度和性能。
  • 濺射靶材——國產替代的重中之重
    靶材,是濺射薄膜製備的源頭材料,又稱濺射靶材,特別是高純度濺射靶材應用於電子元器件製造的物理氣相沉積,它是半導體晶片製造中不可或缺的環節和材料。但是半導體領域對靶材的要求非常高,對濺射靶材的金屬材料純度、內部微觀結構等方面都設定了極其苛刻的標準,需要掌握生產過程中的關鍵技術並經過長期實踐才能製成符合工藝要求的產品,因而有實力產出高純電子級靶材的企業與公司並不得多,也使得電子級靶材價格較為昂貴。
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