半導體晶片濺射靶材價格

半導體晶片濺射靶材價格

科技日報：ITO靶材屬於35項卡脖子技術之一。UVTM掌握濺射靶材生產的核心技術以後，實施極其嚴格的保密措施，限制技術擴散，同時不斷進行橫向擴張和垂直整合，將業務觸角積極擴展到濺射鍍膜的各個應用領域。研製出適用不同應用領域的濺射靶材產品，才能在全球濺射靶材市場中佔得一席之地。UVTM自主創新開發的能力，TFT-LCD用高品質ITO靶材，正式投入量產。自此，靶材的國外技術壁壘，在顯示面板產業重要材料國產化的道路上又前進了一步。廣州以打造「世界顯示之都」的目標，重點領域包括顯示器及配套（含濺射靶材），打造千億級平板顯示產業集群。中國已經成為面板、半導體、光伏、觸控螢幕等光電行業的製造大國和強國，對新材料有巨大的自身需求。預計2022年全球顯示面板整體規模將超1300億美元，LCD面板佔比約70%。中小尺寸OLED滲透率快速提升，大尺寸LCD佔據主流。

濺射靶材是集成電路製造過程中要反覆用到的重要原材料，若濺射靶材的雜質含量過高，形成的薄膜就無法達到使用所要求的電性能，將嚴重影響薄膜的性能。半導體材料市場佔比在3%左右的濺射靶材。半導體製造流程當中，濺射靶材無疑是重中之重的原材料，其質量和純度對半導體產業鏈的後續生產質量起著關鍵性作用。目前，國內靶材廠商主要聚焦在低端產品領域，在半導體、液晶顯示器和太陽能電池等市場還無法與國際巨頭全面競爭，但是，依靠國內的巨大市場潛力和利好的產業政策。受到技術、資金和人才的限制，多數國內廠商還處於企業規模較小、技術水平偏低、以及產業布局分散的狀態。一方面，國外對所需濺射靶材的性能要求高、專業性強，屬於技術密集型產業。而我國企業都為新進入者，在技術、人才等方面差距明顯。隨著人臉識別技術的愈發成熟，紅外手機人臉識別開始大量普及，成為當前市場的重要發展趨勢，而矽靶材作為手機玻璃蓋板的關鍵鍍膜材料，矽靶材作為應用於手機玻璃蓋板的重要靶材產品，獲得多家手機玻璃蓋板生產客戶的認可。光學器件應用範圍非常廣泛，主要包括智慧型手機、車載鏡頭、安防監控設備、數位相機、光碟機、投影機等，高端的應用產品包括航空航天監測鏡頭、生物識別設備、生命科學中DNA測序等研究設備、檢查儀器鏡頭、半導體檢測設備以及大視場投影鏡頭(如IMAX)、3D印表機等儀器設備所需的光學元器件及光學鏡頭。我國濺射靶材研發生產技術還存在一定差距，市場影響力相對有限，尤其在半導體晶片、平板顯示器、太陽能電池等領域。

排氣系統主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統採用「擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold」組成。排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小於0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵後繼抽真空提供前提，之後當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用較廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。機械泵的分類：機械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應用於大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用較廣泛。