光電顯微鏡簡介

     

    線紋尺和度盤是長度和角度測量儀器的標準測量元件，檢驗線紋尺和度盤需要以光電顯微鏡作為瞄準裝置。 你想知道它是怎樣進行瞄準的嗎？

     在光電顯微鏡發明之前，對線紋尺和度盤的刻線大多採用雙套線進行瞄準（圖1）。當採用50倍光學顯微鏡時，瞄準精度約為0.3微米。由於一個線紋尺或度盤上具有數百條刻線，檢驗時需要逐條瞄準，測量效率極低。

                         
                             圖1
      檢驗線紋尺和度盤的光電顯微鏡一般採用雙管差動式原理，其光路如圖2所示。物鏡通過分光稜鏡，將刻線成像在上方和左方的兩個狹縫上；狹縫的光通量由光電倍增管A和B接收並轉換成電信號。右方的目鏡用於調整時的觀察。光電顯微鏡具有透射和反射光源（圖中未示出），可分別用於檢驗玻璃和金屬線紋尺（或度盤）。

                               
                            圖2
      光電顯微鏡實現瞄準的關鍵是，它的兩個狹縫的相位錯開一個狹縫寬度。當刻線像自左至右進入物鏡時（圖2），光電倍增管A和B接收的狹縫光通量變化曲線如圖3所示；電路求取A和B兩路信號之差（A-B），差信號的過零點，就是瞄準點；此時發出採樣脈衝，採集長度或角度測量系統的示值，從而獲得刻線的實際位置。

                                   
                              圖3

     光電顯微鏡的瞄準精度可達(0.1~0.14)微米，由於它能實現動態自動瞄準，因此具有極高的測量效率。新天光電曾經生產過JC9型光電顯微鏡。現在企業仍具有其生產能力。

                              

       歡迎關注新天光電微信公眾號