從納米「照相機」到納米「攝像機」 國產掃描電鏡製造取得進展

2021-01-16 手機光明網

　　對材料微觀結構的觀測一般離不開「微觀相機」，即掃描電子顯微鏡。由此，在材料、生物、醫學、冶金、化學和半導體等研究領域迫切需要這種「利器」。然而，目前我國科研與工業部門所用的掃描電鏡嚴重依賴進口，每年花費上億美元從美國、日本、德國和捷克斯洛伐克等國採購掃描電鏡。國產掃描電鏡也都集中在低端產品領域。

　　記者近日從北京經濟技術開發區獲悉，由園區孵化的創新企業聚束科技（北京）有限公司（以下簡稱聚束科技）自主研發的高通量（場發射）掃描電子顯微鏡，以實物通電工作狀態展示高端電鏡的風採，破解了國產掃描電鏡「弱視」問題。

　　「該系統可對工程級材料進行整體納米晶粒、成分分布統計等電鏡微區分析，視頻級納米分析能力，使掃描電鏡從傳統意義的納米『照相機』躍變為納米『攝像機』。」聚束科技總經理何偉告訴記者。一位業內資深人士表示，「雖然市場還不是特別大，但它是多個科研領域用於科學分析的關鍵儀器設備」。

　　據了解，目前領航者掃描電鏡在國內裝機數量達到10臺（套），並出口海外，實現在國內重大科研項目上的示範性應用。下一步，掃描電鏡設備還將被納入一些知名半導體晶片製造商的實驗室裡，協助進行開發分析，助力高端製造發展。

　　（記者華凌 通訊員方針）

[ 責編：肖春芳 ]

相關焦點

  • 掃描電鏡關鍵技術在經開區破繭
    10月16日，記者從經開區企業聚束科技(北京)有限公司了解到，其自主研發生產的全球首款真正意義上的高通量（場發射）掃描電子顯微鏡將於近期亮相BCEIA2019展會，並以實物通電工作狀態展示高端電鏡的風採，破解了國產掃描電鏡「弱視」問題，標誌著這一「卡脖子」技術在經開區實現了突破。2018年，科技日報公布了35項「卡脖子」技術名錄，掃描電鏡赫然在列。
  • 聚束科技研製生產的國產高通量掃描電鏡成為耀眼亮點
    聚束科技研製生產的國產電鏡是全球首款真正意義上的高通量（場發射）掃描電子顯微鏡。視頻級納米分析能力使掃描電鏡從傳統意義的納米「照相機」躍變為納米「攝像機」。在大視野下獲取高解析度，在1kV加速電壓下可獲得1.8nm、10kV下可獲得1.2nm的分辨能力。
  • 掃描電鏡「弱視」,工業製造難以明察秋毫
    原標題：掃描電鏡「弱視」，工業製造難以明察秋毫 　　亟待攻克的核心技術 　　對材料微觀結構的觀測離不開「微觀相機」——掃描電子顯微鏡，一種高端的電子光學儀器，它被廣泛地應用於材料、生物、醫學、冶金、化學和半導體等各個研究領域和工業部門。
  • 掃描電鏡「弱視」,工業製造難以明察秋毫—新聞—科學網
    對材料微觀結構的觀測離不開「微觀相機」——掃描電子顯微鏡，一種高端的電子光學儀器，它被廣泛地應用於材料、生物、醫學、冶金、化學和半導體等各個研究領域和工業部門。
  • 工業製造難以明察秋毫 掃描電鏡核心技術亟待攻克
    掃描電鏡「弱視」，工業製造難以明察秋毫亟待攻克的核心技術實習記者 陸成寬對材料微觀結構的觀測離不開「微觀相機」——掃描電子顯微鏡，一種高端的電子光學儀器，它被廣泛地應用於材料、生物、醫學、冶金、化學和半導體等各個研究領域和工業部門。
  • 「二氧化矽亞微米、納米球粒度標準物質」研製取得新進展
    在近日召開的2009年下半年度國家一級標準物質終審會上，中科院理化技術研究所納米材料可控制備與應用研究室唐芳瓊研究員匯報了申報國家一級標準物質「二氧化矽納米球粒度標準物質」的研製情況。與會的近40位專家對「二氧化矽納米球粒度標準物質」進行評審後一致認為，該成果研製的二氧化矽納米球具有可靠的均勻性和穩定性，可以作為粒度標準物質。
  • 【科研進展】工業製造最佳碳納米管纖維方面取得新進展
    【科研進展】工業製造最佳碳納米管纖維方面取得新進展 2020-09-04 07:00 來源：澎湃新聞·澎湃號·政務
  • 納米科學:製造原子級納米帶!
    納米科學：製造原子級納米帶！研究人員已經邁出了將原子級精密石墨烯納米帶（APGNR）整合到非金屬基底上的第一個重要步驟。矽晶體是最常用於製造電晶體的半導體，電晶體是用於在計算中執行邏輯運算的關鍵電子元件。然而，隨著更快和更強大的處理器的產生，矽已達到性能極限：導電越快，溫度越高，導致過熱。
  • Chinano 2018——不僅僅有飛納臺式場發射電鏡,還有荷蘭高科技納米...
    飛納臺式掃描電鏡在表徵微觀結構時，擁有一個能在納米範圍內觀測微觀結構的工具是十分關鍵的。掃描電鏡作為表徵材料的理想工具，能夠觀察納米材料的特徵。配備能譜儀，可以分析樣品表面的元素，進而確保材料質量達到要求。
  • 中國缺少的關鍵技術,掃描電鏡,每年要花費上億美元從美日德進口
    上期說到中國資料庫管理系統的不足，今日講述掃描電鏡國產實力不足，中國工業製造備受阻礙。現代工業，依賴於各種先進設備，尤其是在製造微觀材料時，更加離不開機械的幫助，其中最常見的儀器便是掃描電子顯微鏡。它被稱之為微觀相機，幫助人類看清眼睛看不到的東西，所以冶金、化工、生物、醫療、半導體等關鍵領域都需要用到這一儀器。
  • 電鏡新應用、國產進口新技術年終探討——2018北京電子顯微學年會...
    電子顯微學之熱點應用探討：中國應用研究百花齊放　　碳納米管由於其高機械強度、優越導熱性能、可調的電學性能等成為時下研究的熱點，清華大學姜開利教授分享了一維和二維碳納米材料的多種快速表徵技術，包括掃描電鏡下識別碳納米管的導電性和帶隙、蒸汽凝結輔助光學顯微成像技術、瑞利散射光學顯微成像技術等。
  • 國內首臺自主研發的場發射掃描電鏡亮相BCEIA 2015並獲得金獎
    場發射電子槍、低像差物鏡設計與製造等關鍵技術，實現國產場發射槍掃描電鏡零的突破，並且產品的解析度優於1.5nm@30kV。，對國內首臺場發射掃描電鏡的研製成功表示祝賀，勉勵中科科儀在將來的產品開發中取得更大成績。
  • 從原理、功能到結構，細數掃描電鏡和透射電鏡的區別
    現如今，具有高解析度的透射電子顯微鏡(TEM)和掃描電鏡(SEM)在材料分析研究中的應用日趨廣泛，已經成為現代實驗室中一種不可或缺的研究晶體結構和化學成分的綜合儀器。透射電子顯微鏡常用於觀察普通顯微鏡不能分辨的細微物質結構，掃描電子顯微鏡主要用於觀察固體表面的形貌。有時，將兩者有機結合可以得到比較全面的材料分析結果。下面將從多方面比較，細數掃描電鏡和透射電鏡的區別。
  • 聚束科技挑戰「卡脖子」難題:紮根亦莊引領全球高通量電鏡市場航向
    FBT三劍客"的個人稟賦和在工業電鏡領域的豐富經驗，是令其項目投資人刮目相觀的要因；而在相中這"三劍客"的北京經濟技術開發區的一位領導眼裡，他們"勵志突破全球技術瓶頸、打造中國民族電鏡品牌"的情懷尤為可貴。"我們是發自內心地希望將曾經在半導體工業電鏡領域的先進經驗應用到科研、工業領域，為中國乃至全球做出一套全新的電鏡解決方案。"
  • 蘇州納米所新型納米載藥體系研究取得系列進展
    納米藥物遞送體系是指通過物理或化學方式將藥物分子裝載在納米材料載體上，形成藥物-載體的複合體系。因此，新型納米載藥體系是目前納米生物醫學領域的研究熱點之一。最近，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所張智軍課題組在新型納米藥物載體研究方面取得系列進展，引起學術界的關注和興趣。
  • 問傳統求新知——用掃描電鏡揭開鋁電解拋光表面的各向異性納米...
    但是，目前已經發表的研究，缺少對多晶和單晶鋁表面納米圖案形成行為的系統實驗研究，定性的多定量的少，零散的多系統的少，難以用來檢驗和改進現有的表面納米圖案形成理論。其中一個被長期忽略的關鍵問題，就是鋁表面結構差異導致的納米圖案的各向異性。
  • iCEM2017聚焦掃描電子顯微學技術及其最新進展
    6月22日，會議主要圍繞掃描電子顯微學技術展開，9位報告人為大家介紹了X射線能譜技術、電子背散射衍射技術、原位掃描電子顯微學技術、掃描電鏡平整截面制樣技術、臺式電鏡、掃描電鏡聯用技術、掃描電鏡在巖石礦物分析中的應用、掃描電鏡維護經驗分享等方面的內容。
  • 納米氧化鋁添加到混凝土中的作用
    原標題：納米氧化鋁添加到混凝土中的作用 　　納米氧化鋁添加到混凝土中的作用 　　水泥混凝土問世以來一直是建築工程重要的結構材料之一
  • 中科院納米科技研究工作取得積極進展
    三年來，中國科學院納米科技研究取得了很大的進展，有些成果在國際上產生了一定的影響，使本項目的總體水平處於國際前沿。納米金屬Cu高達5100%的超塑延伸量的研究工作被認為是本領域的一次突破，被評為2000年中國十大科技進展之一，其論文獲1999年單篇國際論文被引用次數全國第一、四名。