國內首臺自主研發的場發射掃描電鏡亮相BCEIA 2015並獲得金獎

　　儀器信息網訊 2015年10月27日，第十六屆北京分析測試學術報告會及展覽會(BCEIA 2015)在北京國家會議中心隆重開幕。本次展會特別展示了由中科科儀承擔的國家重大科學儀器設備開發專項《場發射槍掃描電子顯微鏡開發和應用》項目的實施成果——國內首臺自主研發的肖特基場發射槍掃描電鏡產品KYKY-EM8000F。

肖特基場發射槍掃描電鏡KYKY-EM8000F

　　在《場發射槍掃描電子顯微鏡開發和應用》項目的實施過程中，中科科儀突破了30kV場發射電子槍、低像差物鏡設計與製造等關鍵技術，實現國產場發射槍掃描電鏡零的突破，並且產品的解析度優於1.5nm@30kV。KYKY-EM8000F場發射槍掃描電鏡的研製成功，是我國電子光學研究水平的集中體現，將成為我國電子光學領域的重要成果，對摸索我國高端大型科學儀器的發展模式具有重要意義。

　　在KYKY-EM8000F展示期間，科技部、中國分析測試協會的相關領導對於該產品都給予了極大的關注，並提出了相應的指導意見。

　　科技部侯建國副部長、張澤院士、吳學梯司長、吳波爾原司長、原科技平臺中心副主任張渝英等一行人來到中科科儀展臺前參觀，詳細了了解KYKY-EM8000F場發射掃描電鏡的研製過程，對國內首臺場發射掃描電鏡的研製成功表示祝賀，勉勵中科科儀在將來的產品開發中取得更大成績。

　　BCEIA2015大會主席、國務院參事、科技部原副部長劉燕華先生等一行人也特地來到中科科儀承擔的國家重大科學儀器設備開發專項展臺參觀，詳細了解KYKY-EM8000F場發射掃描電鏡的情況，祝賀中科科儀在電鏡開發方面取得的進展，強調一定要愛護好中科科儀這個國產電鏡的唯一品牌，指出產品開發要以市場為導向，以服務用戶為目標，注重產業化，把科學儀器自主創新擺在突出位置。

　　同時在本次展會上，KYKY-EM8000F場發射槍掃描電鏡還在31家單位申報的41個項目中脫穎而出，榮獲了「BCEIA 金獎」。

「BCEIA金獎」頒獎現場

　　據中科科儀電鏡部孫佔峰研究員介紹，KYKY-EM8000F的銷售臺數已超過5臺。首臺產品於2014年11月21日正式交付給中國科學院大學，同年12月10日，雙方共建了中國科學院大學—北京中科科儀股份有限公司「電子顯微技術」聯合實驗室，為KYKY-EM8000F的應用研究搭建了平臺。

　　中國科學院大學在該儀器上已經開展了「國家自然基金」課題(51272281)以及「中國科學院科研裝備項目」(yz201356)的材料形貌研究，對材料的觀測尺度涵蓋了微米級到納米級，分析了摻雜碳材料的形貌演化規律，發現了碳材料的生長奇異現象。獲得的圖像顯示了在碳沉積過程中摻雜金屬前驅體，會使金剛石發生納米化;在生長驅動力增大的條件下，無定形碳會發生分叉和交叉生長，這種現象在以往的碳材料研究中從未報導過。

中科科儀電鏡部孫佔峰研究員

　　另外據介紹，《場發射槍掃描電子顯微鏡開發和應用》項目在新應用方法或解決方案、樣品前處理設備、可拓展儀器應用領域的關鍵部件和資料庫等方面也進行了卓有成效的研究，如進行了場發射槍掃描電鏡在半導體集成電路的檢測技術研究;建立了超過100萬兆的秀麗隱杆線蟲連續切片掃描電鏡成像原始資料庫;編制了環境空氣-大氣粒子(PM2.5)形貌觀測與無機元素分析等行業標準建議稿;成功開發了連續超薄切片收集裝置和微操作裝置等樣品前處理和功能拓展裝置等。

　　通過該項目的實施，中科科儀和合作單位已申請並受理國家發明專利11項，軟體著作權2項，發表相關論文2篇，起草相關行業標準建議稿2項;形成了場發射槍掃描電鏡的技術資料1套，建立了包括院士、教授、高級工程師在內、覆蓋國內掃描電鏡研製和應用優勢單位的人才隊伍，培養了滿足國家重大需求的高精尖儀器和電子顯微學專業人才，這將為相關電子光學儀器的開發和應用提供有力的技術支撐。

編輯：秦麗娟

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