分析測試中心聚焦離子束場發射掃描電鏡(FIB-SEM)投入使用

聚焦離子束場發射掃描電鏡（FIB-SEM）可提供指定區域的材料去除、切割，並通過SEM實現暴露後亞表面特徵的無損成像。近日，我校首臺FIB-SEM在分析測試中心安裝完畢，這將對學校一流學科建設起到重要促進作用。

本次申購的德國蔡司Crossbeam550是基於高端的場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）、與聚焦離子束（FIB）和氣體注入系統（GIS）相結合，該平臺可擴展為先進的三維成像、三維分析和納米加工的工作站。該系統配備了In-lensSE探測器、EsB能量選擇背散射電子探測器、BSD背散射電子探測器、STEM探測器、EDS探測器、EBSD探測器、樣品室SESI探測器和紅外CCD探測器，允許對大量、各種樣品包括導電、非導電和磁性樣品的研究，具備形貌分析、成分分析、結構分析及樣品製備、微納加工等功能，可謂是一臺設備一個實驗室。Crossbeam工作站使我校FIB實現了從無到有的突破，同時配置的Symmetry-EBSD探測器填補了學校高端EBSD的空白，尤其適用於大形變樣品和大面積拼接及偽對稱相的分析。為保障聚焦離子束掃描電鏡順利運行，中心專門調配兩名高級實驗師提供測試服務，目前周測試機時40小時以上，並根據測試需求逐漸增加。

我校分析測試中心具有國家計量資質認證，是公共測試平臺，在大型儀器設備共享、維護及分析測試方面具有獨特的技術優勢，所有設備對校內師生無條件開放。