聚焦離子束-掃描電子顯微鏡-能譜儀系統(FIB-SEM-EDX)安裝完成
2021-01-15 江蘇集萃光電檢測中心目前電檢測中心擁有的FIB-SEM-EDX已安裝完成，並開始承接對外業務。
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一、設備簡介
型號及主要參數
廠家：FEI（美國）
型號：FEI-Scios 2 Hivac
主要參數：
離子束分辨小於3nm@30KV
電子束解析度：workspace<1nm@15KV，workspace<1.6nm@15KV
樣品XY方向移動範圍不低於100nm，Z方向不低於50nm，可繞Z軸旋轉任
意角度傾斜角度T範圍不小於-4o到70o
換樣時間低於3.5分鐘
二、用途及功能：
1.聚焦離子束（FIB）
功能及用途：
利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工，配合掃描電子顯微鏡（SEM）等高倍數電子顯微鏡實時觀察，成為了納米級分析、製造的主要方法。可應用的領域包括：IC晶片電路修改、Cross-Section截面分析、Probing Pad、FIB透射電鏡樣品製備、材料鑑定等領域。
案例分析：
圖一、 封裝級別電路修改，利用 Plasma FIB 清除大面積的聚醯亞胺
圖二、堆疊晶片封裝中的 TSV 微焊點
2.掃描電子顯微鏡（SEM）
功能及用途：
主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，可用於顯微結構的分析和納米尺寸的研究。SEM具有景深大，圖象富有立體感等特點，其景深較光學顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍，且解析度較高，可放大十幾倍到幾十萬倍。SEM與能譜儀（EDX）組合可廣泛用於材料、冶金、礦物、生物學等領域。
案例分析：
圖三、來自耐火磚的氧化鋅晶體
圖四、氧化鋅晶體
能譜儀（EDX）
功能及用途：
各種元素具有自己的X射線特徵波長，特徵波長的大小則取決於能級躍遷過程中釋放出的特徵能量△E，能譜儀利用不同元素X射線光子特徵能量不同這一特點來進行成分分析。EDX主要用來對材料微區成分元素種類與含量分析，需配合SEM使用。
以上，如有測試需求，請聯繫我們
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