1. 設備名稱及數量
聚焦離子束-掃描電子顯微鏡-能譜儀系統 1 套
2. 設備用途和總體功能要求
掃描電子顯微分析在各種材料及器件研究中具有極其的地位，是形貌研究中使用頻率最高的設備之一，已成為科研工作不可缺少的常規設備。FIB-SEM雙束系統中場發射掃描電鏡主要用於觀察、分析和記錄樣品的微觀形貌，聚焦離子束用於樣品微納米尺度下的切割、刻蝕等工作能譜儀主要用於樣品元素分析。
3. 技術規格和要求：
備註：「*」表示設備規格的必要條件，必須達到該規格。
3.1 離子束及輔助氣體注入系統技術要求
3.1.1 離子束系統：
1）離子源種類：液態Ga離子源；
*2）解析度：≤ 4.0nm@30kV (statistical method)；
3）加速電壓：0.5kV - 30 kV；
4）束流強度： 1pA-100nA
5) 電子束和離子束交叉點工作距離不大於7mm；
6）離子源壽命：≥ 1000小時/2000uAh；
7）連續工作時間：Ga離子可至少連續工作72小時才需進行Heating。
3.1.2 輔助氣體注入系統：
1）擁有獨立的分離式氣體注入系統，可重新配置；
*2）具備金屬沉積系統，可在離子束、電子束誘導下進行Pt的沉積。
3.1.3 具備束流測量裝置。
3.1.4 具備實時觀察離子束加工的監控功能。
3.2 電子束
1）電子槍類型：肖特基場發射燈絲；
*2）解析度：在工作距離 ≤0.9nm@15KV，≤1.7nm@1KV；
3）加速電壓：不小於0.2 kV ～ 30 kV範圍；
*4）束流強度：最小值不高於10pA，最大值不低於100nA；
5）最小著陸能量：不高於20V；
6）電子槍壽命：保證至少可使用1年；
7）物鏡系統：電磁/靜電式物鏡系統；
8）全自動光闌系統。
3.3 探測器
1）樣品室內配備獨立二次電子探測器；
2）鏡筒內配備探測器 (二次電子)；
3）背散射電子探測器；
2）可實現二次電子信號與背散射信號同時且分別成像。
3.5 真空系統
1）完全無油真空系統；
2）樣品室真空度：不高於6x10-6 mbar。
3.6 樣品室及樣品臺
1）多軸高精度馬達樣品臺：XY方向重複精度不大於3μm；
2）樣品室內紅外CCD相機系統；
3）樣品室內部尺寸不小於330mm×260mm；
4）樣品臺X Y 方向移動範圍不低於100mm，Z方向移動範圍不低於50mm，可繞Z軸旋轉任意角度，傾斜角度 T 範圍不小於-4到70度；
5）換樣時間：<6分鐘。
3.7 冷卻水系統
1）要求有空壓機和冷卻循環水系統，分別用於冷卻SEM鏡筒及其它部件；
3.8 系統控制
1）基於Windows10作業系統的64位圖形用戶界面，鍵盤，滑鼠，及手動用戶界面；
2）圖像顯示：至少兩臺24」 LCD顯示器，解析度不低於 SVGA 1900 x 1200；
3）帶有旋鈕控制面板鍵盤、滑鼠, 控制樣品臺的雙軸遙感作業系統，可自動調節：電子槍對中、亮度與襯度、調焦和象散、動態聚焦、傾斜補償等；
4) 圖像存儲精度不低於：6144 × 4096
4）文件格式：TIFF (8, 16 or 24位)，BMP或JPEG格式，單幅或4幅顯示；
4. 產品配置要求
4.1 場發射電子束/聚焦離子束雙束工作站 一套
4.2 電鏡控制系統 一套
4.3 樣品室紅外CCD相機 一套
4.4 鏡筒內探測器 一套
4.5 樣品室內二次電子探測器 一套
4.6背散射電子探測器 一套
4.7 無油真空系統 一套
4. 8 鉑沉積氣體 一套
4.9 通用樣品座 一套
4.10 空壓機 一套
4.11 冷卻循環水機 一套
4.12 三維重構軟體 一套
4.13 等離子清洗系統 一套
4.14 能譜儀 一套
4.14.1探測器：電子製冷探頭；
4.14.2*晶體面積：有效面積不小於60 mm2；
4.14.3能量解析度：≤127eV at Mn-Kα；
4.14.4元素測試範圍：範圍大於4-94號元素；
4.14.5探測器可通過軟體控制，實現自動伸縮，無需手搖；
4.14.6譜峰穩定性: 1,000cps 到 100,000cps，Mn Ka 峰譜峰漂移小於1eV，48小時內峰位漂移小於 1.5eV；
4.14.7最大輸入計數率：不小於800000cps；
4.14.8無漏磁電子陷阱設計，對掃描電鏡無任何影響；
4.14.9峰背比：優於20000:1；
4.14.10具備有標樣定量分析及無標樣定量分析方法; 可以得到歸一化和非歸一化定量結果；
4.14.11原裝進口工作站：CPU i5以上、獨立顯卡、內存≥8G、硬碟容量≥500GB、 DVD 讀寫光碟機、顯示器不小於24英寸。
4.14.12支持點掃、線掃、面掃三種掃描方式；
4.14.13三種掃描方式（點、線、面），每種掃描方式下，支持譜峰分離分析；
4.14.14三種掃描方式（點、線、面），每種掃描方式下，支持離線分析，離線情況下可減少或添加元素分析；
4.14.15支持電子束漂移補償；
4.14.16能譜應用軟體基於Windows 10平臺，採用多任務設計，可以同時並行數個任務，並支持分屏顯示及遠程控制；導航器界面設計, 操作簡便，界面友好, 並具有中文和英文操作界面，可以自由切換。
5. 附件及零配件
5.1 耗材：碳導電膠3個（8mm x 100mm）、銀導電膠 3盒、樣品做標準小樣品座 20個、專用鑷子 1套；
5.2 不間斷電源UPS
5.3 維修專用工具 1套；
5.4 備用耗材Ga離子源及相關耗材一套；
5.5 備用Pt沉積源一套；
5.6 選配：大尺寸樣品預交換室一套。
6. 技術服務
6.1 設備安裝調試
在儀器到貨前廠家派遣工程師攜帶專用設備對用戶實驗室的地面振動和環境雜散磁場進行免費的檢測；
儀器到達用戶所在地後，在接到用戶通知後兩周內執行安裝調試；
儀器的安裝調試應在一個月內完成；
6.2 技術培訓：
1）在用戶現場對用戶進行培訓至少為期一周。培訓內容包括：儀器的技術原理、操作、數據處理、基本維護；培訓時間可針對用戶情況延長時間，除了儀器操作維護培訓外，在儀器到達客戶實驗室之前安排到技術中心和演示實驗室進行預培訓；
6.3 維修響應時間：儀器供應方應在12小時內對用戶的服務要求做出響應，接到用戶維修通知後3個工作日內必須到客戶現場；
6.4軟體升級：在硬體支持的前提下，應用軟體終身免費升級；
7. 技術文件
7.1隨設備提供設備的操作說明手冊、維護手冊和服務手冊(可電子版)；
7.2設備安裝條件及實驗室條件說明。
8. 包裝要求及運輸方式
8.1包裝要求：應使用嶄新堅固之木箱（標準出口包裝），適合於空運、陸運等長途運輸方式；適合氣候變化；抗震、防潮、防雨、防鏽、防凍。投標商應對任何由於不當包裝或防護措施不利而導致的商品損壞、損失、鏽蝕、費用增長等後果負責。
8.2運輸方式：空運