蘭州理工大學舉辦雙束聚焦離子束髮射掃描電鏡應用交流會

2020-12-04 每日甘肅網

　　為掌握納米表徵技術發展動態，促進學校納米材料和技術的發展，應蘭州理工大學邀請，近日，美國FEI公司、日本電子公司、德國蔡司公司的5位專家於該校重點實驗室學術會議室與師生進行了雙束聚焦離子束場發射掃描電鏡技術應用方面的交流。

　　交流會上，美國FEI、日本電子、德國蔡司三家公司的專家分別對雙束聚焦離子束髮射掃描電鏡(FIB and SEM)的組成、結構、功能特點以及在材料的表徵、納米材料的加工、材料的刻蝕等方面的應用做了介紹，重點說明了聚焦離子束系統原理及在微米/納米加工中的應用。

　　雙束聚焦離子束髮射掃描電鏡除具有掃描電子顯微鏡的成像功能外，還具有聚焦離子束(FIB)系統。FIB技術是把離子束斑聚焦到亞微米甚至納米級尺寸，通過偏轉系統實現微細束加工的新技術。與其他高能粒子束流相比，聚焦離子束具有較大的質量，經加速聚焦後能夠以很高的能量和較短的波長直接把圖案轉移到較硬的基體材料上，還可對材料和器件進行刻蝕、沉積、離子注入等微納米加工,開闢了從大塊材料上製備微納米器件及進行微納米加工的新途徑。

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