SEM(掃描電子顯微鏡)是什麼?

2020-12-03 六點半的早

SEM是什麼

先放一張圖SEM(掃描電子顯微鏡)的圖片,實驗室的真傢伙我還沒見過,不過看樣子應該不算太便宜,以後應該也不讓隨變搞,到時候再說,反正我肯定要玩兒它幾次才行,一看就比顯微鏡高級,說來慚愧,顯微鏡還沒玩兒幾次呢。

這個東西跟顯微鏡有相似的地方,就是可以用來觀察物理細節,成像。但是顯微鏡由於使用的是自然光,由於可見自然光的波長問題,光學顯微鏡的使用是有局限的,放大倍數有極限,也就是解析度有物理極限【大於200nm】,沒法突破,觀察到的最最最細節的東西就那樣,學過大物的應該還記得光柵,當間隙小到小於光波的振幅的時候,光就抖不過去了,這個跟那個意思差不多。但是電子顯微鏡,用到的不是自然,而是用的電子,電子才多大,所以放大倍數比光學顯微鏡也就高那麼十萬倍。當然電子束也是有波長的,但是隨著電壓的升高,電子束速度越快,波長也就越短。

總之光電顯微鏡就是很牛逼的樣子。

最開始在文中看到這個名詞的時候,百度了一下,大概知道是什麼也就算了,然後一篇論文看下來也感覺沒啥收穫。想想還是要仔細了解一下文中的細節,各個技術的詳細原理才行。

SEM原理

SEM,掃描電子顯微鏡(最開始看了百度的時候告訴我是搜索營銷,這不搞笑嘛,一篇關於材料的科技論文,居然有這種怪物)

,先說一下這個名字。方便後邊理解,首先說掃描兩個字,那就是這個顯微鏡出來的像,是一點點掃描,單點成像,拼湊出來的,每個點都是真實的,電子兩個字,是重點,SEM成像的基本原理就是電子在撞擊被觀測物體時,的時候會產生一系列相互反應,就像石頭被丟進水裡一樣,會產生水波紋。

SEM就是利用這個原理。

首先由掃描纖維鏡的電子發射槍發射高速電子,聚焦,然後撞擊被觀察物理,再由另一個接收器來接受物理被撞擊後產生的如水波一樣的信號。物體被電子束撞擊後產生的信號有好多種。

如下圖中的,俄歇電子,二次電子等。

其實不難理解,物體本來就是由原子核和周圍的電子組成的,當有外來電子撞擊的時候,肯定會和現有的電子產生相互影響。如二次電子就是外來電子撞擊,取代現有電子位置,所跳躍出來的電子,就像來了第三者,原配被幹掉了,當然這個過程中肯定不會就那麼簡單,取代過程中肯定會有很多故事,在SEM中即表現為取代過程中會特徵X射線之類的東西出現。

SEM能幹什麼

總之在電子撞擊物體過程會產生很多別的儀器能夠檢測的型號,不同的信號能夠用來分析出關於被測物體的不同特徵信息。

這裡放一個表格,大家看一下:

所以可以看到,掃描電鏡除了能夠看到被觀察物體的清晰結構外,還可以看到和分析出被測物體的很多其他信息。

首先是成像,掃描電鏡因為所成的像是一個個點掃描出來的,最高可達所以解析度很高,3nm左右,也就是十二倍原子大小的樣子。給大家配一個圖:

這就是電鏡掃描出來的圖片,可以清晰地看到材料是怎麼個結構,而且成像一點也不失真,這是一個個點實實在在拼出來的,不像數位相機,對得到的像素進行了調整,壓縮,篩選的。這個圖像有點像前段時間網絡上公布的黑洞照片,那個照片也是用相關信號一個個像素點地觀測,然後經過計算拼出來的,當時檢測出來的信號數據來計算像素點好像就算了幾年。

掃面電鏡成像,主要是根據接受器接受電子撞擊物體產生的二次電子信號,然後通過特定算法算出來的,其算出來的圖像。

下面貼一張電子發射槍和周圍兩個接收器的圖片:

由於二次電子的產生量,跟樣品表面的起伏度有關,所以二次電子的立體感比較好。與此類似的還有散射電子信號,散射電子的產生量,跟樣品原子序數有關,所以根據檢測散射電子信號算出來的圖像其材料對比度更見清晰,能看出來觀測物體由幾種元素組成。

這些都是能形成我們能直觀看到的圖像的。

還有一些其他信號,可以用來觀測其他的,但是需要在設備上添加其他的信號接收器,配置相應的計算軟體,和參考資料庫。比如特徵X射線,前面提到的。

這裡貼一張射線產生(第三者入侵過程產生的信號,層內電子躍遷)

<Object:word/embeddings/oleObject1.bin>

由於不同元素,層內電子躍遷產生的信號不一樣,根據特徵X射線跟參考資料庫對比就能清楚分析出材料中所包含的元素種類,以及含量。

以上這些功能(部分)科廣泛應用於各個領域的研究,包括生物,醫學,材料,化學等,用於結構分析,元素分析,納米技術研究等。很牛逼,用好了月薪上萬不是夢。

SEM的優點

掃描電鏡差不多就是上面說的那麼個東西。

之所以那麼厲害,首先就是,1、他成像清晰,且放大倍數超乎想像,可以達到幾十萬倍,是光學顯微鏡所遠遠不能及的,幾乎它的出現可以說讓研究進入到一個全新的境界。2、景深大3、除了成像以外,還可以加持其他設備,進行更加細緻的分析,功能多樣化。如SEM-EDS就是掃描電鏡,配一個微區分析成分的能譜儀,用於檢測元素總類和含量的。

這裡普及一下景深的概念,也是在寫的過程中去弄明白的。簡單說,舉個例子,我們手機拍照時,聚焦到一個物體上時,我們能清晰地看清楚這個點的內容,而在這個點的前面和後邊一定範圍內,沒有被嚴重虛化,人肉眼還能看清楚的範圍就叫景深。

配個圖

掃描電鏡圖像

光學顯微鏡圖像

上邊兩張圖,聚焦的都是同一個點,一個是掃描電鏡圖像,一個是光學顯微鏡圖像。明顯後邊一張,在聚焦平面往後的東西就虛化了,肉眼看不清了,只有聚焦平面很近的範圍內才能看到。而電子掃描,由於是一個個像素點掃描出來的,層次感很強,聚焦平外往前一定範圍內的圖像任然很清晰。景深比較大,這樣看到的信息就更多,對結構的內部構造了解得更加清楚,便於研究。

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