熱解氮化硼 PBN 坩堝-北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司-北極星...

 

一、產品簡介
       熱解氮化硼（PBN）屬於六方晶系，為先進陶瓷材料，純度可以達到99.999%，耐酸鹼，抗氧化，導熱性好，緻密，可加工。它在高溫、高真空條件下，由氨和硼的滷化物進行化學氣相沉積（CVD）而成，既可以製備PBN板材，也可以直接製備坩堝，舟，塗層等PBN最終產品。

   
二、主要特點
      它與普通的熱壓氮化硼(BN)不同，不必經過傳統的熱壓燒結過程，不添加任何燒結劑，因此獲得的產品具有如下顯著特點：
    （1） 無毒、無味；
    （2） 純度高，達到99.999%以上；
    （3） 室溫下與酸、鹼、鹽及有機試劑不反應，在熔融的鹽、鹼液中略腐蝕，但能抗高溫下各種酸的腐蝕；
    （4） 與大多數熔融金屬、半導體及其化合物不反應；
    （5） 在1000℃以下，抗氧化性能良好；
    （6） 抗熱震性能良好，2000℃投入水中未見裂紋；
    （7） 使用溫度高，無升華點，在3000℃以上直接分解為B和N；
    （8） 電阻高，電絕緣性能好；
    （9） 表面光滑，無氣孔，與大多數半導體熔體不溼潤。