當地時間10月14日，半導體巨頭、全球光刻機領頭企業ASML財務長羅傑·達森（Roger Dassen），對向中國出口光刻機的問題作出了表態。他表示，ASML可以從荷蘭向中國出口DUV（深紫外）光刻機，無需美國許可。
但，大家都懂。DUV光刻機非ASML最先進的產品。10nm及以下的晶片製造，EUV光刻機必不可缺。中芯國際的7nm（N+1工藝），並非國際公認的7nm，更類似與臺積電10nm，使用DUV光刻機製造。
據了解，EUV光刻機不需要多重曝光，一次就能曝出想要的精細圖形，沒有超純水和晶圓接觸，在產品生產周期、光學鄰近效應矯正的複雜程度、工藝控制、良率等方面都有明顯優勢。當天，ASML發布了其2020年第三季度財報，達森也一同接受了視頻採訪。當被問及美國的半導體出口禁令對ASML的業務有何種影響時，達森回應稱，他們注意到了美方的禁令，也意識到了禁令對中國客戶的影響。
隨後達森對ASML的光刻機出口問題作出了解釋，他說：「如果要解釋一下美國的規定對ASML有什麼影響的話，對於的中國客戶，我們還是可以直接從荷蘭向他們出口DUV光刻機，無需任何出口許可。」但他隨後也補充稱，如果相關系統或零件是從美國出口的，那這些設備仍然需要得到美方的許可。達森表示，ASML將盡最大努力，儘可能為所有客戶繼續提供服務和支持。根據公開的財報電話會議錄音，ASML執行長彼得·韋尼克（Peter Wennink）也在會議上確認了這一點。韋尼克稱，根據當前美國的規定，直接從荷蘭向中國出口的DUV光刻機不受影響。但達森和韋尼克都強調的是DUV光刻機出口，並未提到更先進的EUV（極紫外）光刻機。彭博社14日在報導中也強調，DUV的規則不適用於EUV光刻機。ASML必須獲得許可證才有可能向中國企業出口EUV光刻機。但荷蘭政府已經暫緩了EUV光刻機出口許可，一直到現在都沒有批准。「儘管被夾在中美之間，ASML仍積極努力」，彭博社報導截圖 根據ASML發布的財報，2020年第三季度ASML光刻機淨銷售額達31億歐元，中國大陸市場的營收佔到21%。第三季度ASML總計淨銷售額達到約40億歐元，淨收入近11億歐元。值得一提的是，EUV光刻機的收入佔比極高，貢獻了66%的光刻機銷售額。
今年5月，ASML與無錫高新區籤署了戰略合作協議，在無錫高新區內擴建升級阿斯麥光刻設備技術服務（無錫）基地。此前，ASML已在北京、上海、深圳、無錫等地開設分公司，為客戶提供服務和諮詢，其中深圳是其在亞洲最大的軟體研發中心。
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