公元前230年韓國第一個滅亡，韓王安被抓，公元前226年，韓王安被殺。公元前229年王翦大破趙軍，趙王被俘，趙國滅亡。趙國公子嘉跑到代地自立為代王。公元前225年，王翦的兒子王賁水淹大梁，魏王投降，魏國滅亡。公元前223年，王翦帶六十萬大軍平定楚國，擊敗項燕，也就是項羽的爺爺，楚國被平定。楚地比較大，比較複雜，很難算是完全滅亡。
公元前222年，王翦的兒子王賁滅掉燕國，同時又滅掉趙國公子嘉建立的代國，趙燕徹底滅亡。公元前221年，王翦的兒子王賁從燕國出發，滅掉齊國。
滅六國的順序是：韓——趙——魏——楚——燕、趙（代）——齊
功勞最大的自然是戰國四名將之一的王翦及他的兒子。
讓秦軍吃過大虧的：
韓國是實力最弱的，所以滅韓還是很輕鬆的。趙國實力比較強，所以對付趙國用了反間計，讓趙幽繆王殺掉李牧，王翦輕鬆滅掉趙國。魏國也差不多，燕國包括後來形成的代國的實力也很弱，這些諸侯國都沒有讓秦國吃過大虧。
齊國是東方大國，本來是比較難對付，可惜當時後勝執政，此人接受秦國賄賂之後對其他諸侯國被滅都無所謂。直到五國被滅之時，齊王才醒悟過來。此時六國只剩下齊國，雖然調集了四十萬大軍也沒有用，很快齊國就被滅了。
總體上來說滅這些地方還是比較輕鬆，比較難的是楚國。楚國這個地方地域廣闊，戰略縱深，機動力量強大。當年伍子胥帶著吳國的軍隊攻破楚國都城也沒有滅掉。當時秦始皇有二個人選，一個是老將王翦，還有一個是年輕的將領李信。王翦說滅楚需要六十萬，李信說只需二十萬。於是秦始皇派李信帶著蒙恬等人去滅楚國，結果被項羽的爺爺項燕設計，當時秦國敗得很慘。
當時項燕採用誘敵深入的方法，先讓李信取得節節勝利，包括讓其攻下鄢郢，到城父與蒙恬的隊伍會合之時。此時項燕的反擊來了，楚軍三天三夜不停宿休息，終於攻入秦軍的兩個營地，斬殺了七個都尉。李信率殘部逃奔回秦國。
這是秦國在滅六國時敗得最慘的一次。秦始皇是大怒，他的第一個反應就是去頻陽找到已經告老還鄉的王翦，說服他出山滅楚。王翦滅楚沒有像李信這樣冒進，而是採用絕對優勢兵力，穩紮穩打，最終逼著項燕自殺，楚國滅。