東漢元嘉元年(公元151年)，上虞縣令度尚，將孝女曹娥投江救父事跡，上報朝廷，旌為孝女，並遷墓建廟，又為她立碑。度尚先命縣吏魏郎撰寫碑文，久而未出。度尚外甥邯鄲淳，年少有異才，適在旁侍酒，因試為之，操筆立就，文辭之妙，魏郎嘆服，遂毀其草。這就是最早漢邯鄲淳所書的《孝女曹娥碑》。也就是漢中平二年(公元185年)，中郎蔡邕到曹娥廟摸碑後，在碑陰題：「黃絹幼婦，外孫齏臼」八字的這塊漢碑，但後來墮江失落。經考查《新唐書》記載：「唐太和二年(公元828年)越州大風海嘯。」四至五年浙江又連遭大水，推究當在此時墮江失落。
東晉昇平二年(公元358年)，右軍王羲之到曹娥廟，以小楷書《孝女曹娥廟》文存廟，又有新安吳茂先為其刻碑立廟，後又為好事者取去，但傳說輾轉流傳入皇室內宮。後據日本書法鑑定家中田勇次郎考證，今收藏遼寧博物館的墨跡絹本，即系晉王羲之所書《孝女曹娥碑》的真跡。
北宋元祐八年(公元1093年)，侍郎蔡卞以行書重書《孝女曹娥碑》文，立碑存廟。民國十八年(公元1929年)，曹娥廟遭大火焚毀，當時廟內所存9塊碑中，僅存此碑但已被燒裂，後經曹娥鄉紳任鳳奎大力搶救修復完好，又發起重建曹娥廟，因此這塊宋蔡卞所書的《孝女曹娥碑》至今仍豎立在曹娥廟。而其餘8塊石碑，均被燒成粉碎，尚未恢復。
明嘉靖元年(公元1522年)，太監賴恩，欽差提督浙江市舶，到曹娥廟發現漢晉兩碑泯然無見，乃集唐刺史李邕(李北海)文字，湊成《孝女曹娥碑》文，並刻成石碑存廟，另有杭賴恩《題曹娥碑後》識和堇山李堂跋。
清康熙十二年(公元1673年)，右軍後裔中書舍人王作霖，摹王羲之曹娥碑帖書法，以小楷仿書《孝女曹娥碑》文立碑存廟，碑後附有石之貞題跋。
清嘉慶十三年(公元1808年)，金匱錢泳受浙江巡撫阮元囑託，以隸體書《孝女曹娥碑》文，由山陰縣知事徐元梅捐貲上石，並由會稽陳鴻熙從杭州運石到上虞立於曹娥廟。碑後附有鄞縣陳權識和錢泳補書並記，以及會稽陳鴻熙題跋。
明洪武八年(公元1375年)，誠意伯劉基(劉伯溫)，奉明太祖朱元璋敕命，到曹娥廟祭奠孝女，撰有《青田誄辭》，並書《拜曹娥廟》詩一首，立匾於廟正殿，也被火毀。
明萬曆四十一年(公元1603年)，巡監御史楊鶴，為曹娥投江事跡所感，以行楷書《哭娥草》詩十首，並刻成石碑存廟。
明天啟七年(公元1627年)，浙江巡按徐吉，到曹娥廟祭拜孝女，題《泊曹江謁孝女廟》詩一首，系大行草書法，並刻成石碑存廟。
清康熙五十八年(公元1719年)，紹興知府俞卿，到曹娥廟以小草書《題漢孝女曹娥祠》詩六章，並刻成石碑存廟，此碑系會稽黃以信立石，陳爾侯鐫。清乾隆十四年(公元1749年)，浙江巡撫方觀承，因早年落魄，曾在曹娥廟內擺攤，以看相拆
字謀生，騰達後，重到廟祭拜孝女，助廟田20畝，並《題孝女祠》詩一首，系大行書書法，並刻成石碑存廟。
清宣統元年(公元1909年)，棲霞牟房初，以公事駐曹娥鎮，恭謁孝女祠墓，禮成賦七律詩一首，系正楷書法，並刻成石碑存廟。
另有明禮部尚書董其昌，曾以小楷書《孝女曹娥碑》，今拓片收刻於《御刻三希堂》石祟寶笈法帖中。