大家好,我又來禍害東西了!!!!!!
機緣巧合,機緣巧合,這次真的是機緣巧合,一位老師傅看我DIY電鏡比較痛苦,於是乎送了我半套電鏡~為何講是半套呢,因為只有鏡體主機,沒有電控部分。
這套被拆的EDX就是這套鏡子上面的,鏡子型號是JEOL JSM-5600LV
下面先簡介一下EDX的原理:
所謂EDX(EDS)是指的X射線能譜分析,在掃描電鏡中當電子束轟擊到樣品表面時會溢出二次電子與背散射電子,電鏡靠這兩種電子來成像形成樣品表面輪廓與景深,但是當電子轟擊到樣品表面時,溢出的除了二次電子(SE)與背散射電子(BSE),同時還會被激發出微弱的X射線,X射線的能量強弱與被電子轟擊物體的各種成分含量相關,用特製傳感器來探測接收這部分X射線,並分析其能量就可得到電子轟擊靶面範圍內各種元素含量(類似質譜儀或者色譜儀),這就是X射線能譜分析的基本原理。
OK介紹完原理開拆 ,首先是這半套鏡子到手的照片,物流給送來正在準備卸貨。
這東西別看不大 重量足足有270Kg,喊來4個朋友幫忙才把這傢伙弄下車,下車之後拆掉木架用機器四個腳輪推到樓下。
這就是今天的主角,上面帶個大大的杜瓦瓶用來盛放液氮給傳感器降溫降低熱噪聲。
傳感器頭部特寫,傳感器頭部在樣品倉內高度可調,使用時需要將傳感器頭部緊貼被測靶面區域
OXFORD,大名鼎鼎的牛津標誌。
EDX與電鏡連接安裝調整座
杜瓦瓶側面,探測器參數型號,Link Pentafet
傳感器到上位機通訊卡的插口,這次拆這個EDX主要原因有二:
其一是沒有計算機的通訊卡無法使用。
其二是這個EDX的傳感器窗口破損了.....在樣品倉內漏氣。
高度調整機構。
OK,拿出工具開拆,數碼之家專屬
擰開螺絲打開側蓋裡面是一塊並不複雜的板子,上面有前置放大電路和負高壓部分。
板子通過插座與氣密連接件連接,拔下來之後板子背面可以看到大大的WIMA電容,十分HiFi
鍍金氣密插座十分搶眼(有尼康黃的功勞在裡面)
打開另一面的蓋子,內部還有個密封擋板 。
先拆掉傳感器固定調整座。
然後打開這個密封擋板,內部是杜瓦瓶到傳感器的熱傳導介質——一坨銅棒與一條編織銅線。
傳感器連接插頭與熱傳導耦合連接頭,純紫銅與黃金的碰撞。
拆掉熱傳導銅座的兩顆固定螺絲,拔掉傳感器連線插座分離傳感器與杜瓦瓶。
杜瓦瓶端,剩餘的熱傳導耦合靴和氣密航連接插頭。
傳感器總成特寫。
拆掉三顆螺絲,抽出導熱銅棒與傳感器頭。
頭部特寫,可以看到破損的傳感器外殼窗口。
傳感器頭部特寫。
OK!至此全劇終,感謝各位看官,下次再見。
謝謝觀看!
關注數碼之家網瀏覽更多精彩資訊、拆機圖文DIY
技術交流請聯繫原作者
作者:liukai163
本文來源:數碼之家