均是從事材料的平均成分分析，對材料中的夾雜物或不均勻材料或小顆粒的分析有很大的局限性。有一種非常成熟的能譜技術，這種能譜叫微區X射線螢光光譜儀，它不僅可以完成一般能譜儀的平均成分的分析，又具有可變的細的X-光光束，可對微區進行有選擇的分析。可通過精密移動樣品臺的對樣品細小的區域進行成分分析，並實時給出元素的面分布圖。它類同於掃描電鏡或電子探針的分析，但又比後者靈敏度高得多。
可以對植物的根、莖、葉、花蕊、果實等部位的研究提供表面元素分布成像、定性及定量的分析，給使用者提供詳細直觀的相關信息。目前被廣泛的應用在植物營養學，土壤修復，食品營養學，植物保護與動物學，農林業的應用中。
微區X射線螢光光譜儀的基本原理： 當能量高於原子內層電子結合能的高能X射線與原子發射碰撞時，驅逐出一個內層電子而出現一個空穴，使整個原子體系處於不穩定的激發態，然後原子體系會由激發態自發的躍遷到能量低的狀態，這個過程稱為弛豫過程。弛豫過程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當較外層的電子躍遷到空穴時，所釋放的能量隨即在原子內部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子，此稱為俄歇效應，亦稱次級光電效應或無輻射效應，所逐出的次級光電子稱為俄歇電子。
它的能量是特徵的，與入射輻射的能量無關。當較外層的電子躍入內層空穴所釋放的能量不在原子內被吸收，而是以輻射形式放出，便產生X射線螢光。X射線螢光的能量或波長是特徵性的，與元素有一一對應的關係。
優點： 1.整機一體化設計，高強度密封，防水、防塵、抗衝擊，大屏幕彩色觸控螢幕。
2.具有多種檢測模式，滿足客戶多種需求。
3.測量元素範圍從儀器可建立有針對性的校正曲線。
4.激發源採用高性能微型X射線管，鎢靶，電壓可調範圍6KV—50KV。
5.探測器能量解析度小於等於140ev,計數率為250Kcps。
6.儀器包自帶標準片，開機免校準。
7.可以儲存和顯示牌號及牌號範圍、含量和測試時間等。結果顯示時，可同時顯示相應元素在對應牌號庫中的含量範圍，並有不同顏色標註各元素測量結果是否合格。