上個禮拜，臺灣環保署環評大會針對臺積電3納米案，做出要求相關單位補充說明資料，送大會討論的決議。南科管理局今11月15日表示，一定可以在2周內完成各項資料的準備工作，並儘速提送至環保署，以加快環評審查的通過時程，讓臺積電的建廠工作，可以順利進行。
南科管理局表示，臺積電3年多前，釋出正在尋找3納米的設廠用地時，就立即洽各水電權責單位，得到保證能如期如質滿足需求後，才積極邀請臺積電到南科設廠。近2年來，多次參加行政院召開的「解決五缺」會議，清楚了解政府單位對於增加水電供應的具體規畫與做法，更堅定「水電供應無虞」的信心，所以定會以最誠懇的態度面對，讓關心家園環境的所有人安心。
南科管理局指出，關於環評委員及環保團體對於水、電供應疑慮，這次增加的用水及用電量，均已分別獲水利署及臺電公司同意。水利署已有完整的水資源規畫，有信心可滿足產業用水之餘，也不影響農業及民生等用水需求。臺電公司也投資477億元進行既有電廠整體改善，從源頭管理及管末削減來減少空氣汙染物排放量。
此外，臺積電更承諾逐年取得用電量20%再生能源，且新增用水7.5萬噸/日中將使用最高5.05萬噸/日之再生水，用最友善的方式，減輕環境負擔及區域供水壓力。
南科管理局長林威呈表示，南科追求產業發展也深知環境保護的重要，園區已備有完整的環保措施與監督機制，在園區投資設廠，定能落實環保作為，一同守護美麗的家園。南科更以一貫的立場、執行力與決心，用最認真、最積極的態度打造綠色永續園區，支持與協助有競爭力的優質產業發展。
林威呈表示，會對園區的環境也將盡最大管理與維護的責任，以最誠懇的態度面對委員及環保團體的指導，這次的審查意見將逐項釐清及詳細回應說明，儘快完成送件審查，讓臺積電安心投資。
上周臺積電 3 納米廠「環差案」卡在水、電問題沒有通過；臺灣「經濟部長」沈榮津昨（19）日動員臺電及相關單位，研析能否讓興達燃氣電廠1號機的商轉時間，從2023年提早到2022年，與臺積3納米廠量產的時間同步，以解除環團疑慮。
與會人士透露，考量興達電廠燃氣機組的時程安排，除了興建時間，在此之前還有環評等不確定性較高的因素，昨天會後仍無法保證一定可以提早到2022年，但臺電已表示「會努力」。
臺積電3納米新廠上周三（14日）本欲在環評大會闖關，但環評大會要求開發單位要在三個月內就節能措施、再生能源20%的達成期程及控管方式補充修正後，於下次環評大會再行內部討論。
其中，環團也質疑，在興建中的臺積電5納米廠，未來營運的所需用電量為75萬瓦，3納米廠擴增案所需用電量達88萬瓦，兩者相加幾乎就等於興達電廠四座燃煤機組的發電量。如若不能在2022年底臺積3納米廠陸續投產前，將老舊燃煤機組除役汰換，只會加劇南部空汙問題。
臺電解釋，臺積5納米廠、3納米廠的用電是透過南科超高壓變電所供電，不是由興達電廠拉專線供電。經濟部也表示，電廠除役涉及整體供電情勢，不可能因「單一公司個案」而提前除役。
但既然環團的質疑，經濟部長「聽到了」，沈榮津昨天仍然找臺電研商「再進一步提前」除役的可能性。
臺電錶示，興達電廠「煤改氣」工程是採「先建後拆」，燃氣機組要先商轉，燃煤機組才會除役。按臺電之前的電源開發計畫，興達電廠燃氣新1機在2023年商轉後，燃煤1號、2號機也已提早在2023年除役。等到興達燃氣新2機在2024年商轉時，燃煤第3號、4號機組則轉為夏季尖峰備用機組。
至於臺積電再生能源要達20%的問題，經濟部表示，已請能源局協助節能措施，或購買綠電。
臺積電：3nm晶圓廠2020年開建，預算超200億美元臺積電創始人兼董事長張忠謀在去年年底的一次公司會議上披露，臺積電將在2020年開工建設3nm工藝晶圓廠，但不會去美國設廠，而是堅持留在臺灣本土，確切地說是在南部科技園區。
張忠謀提出，臺積電相信當地政府會解決好3nm工廠建設所需的水電土地問題，並提供全力協助。
按照張忠謀此前的說法，3nm工廠建設預計會花費超過200億美元，同時有望帶動相關供應商跟進建廠，拉動臺南地區經濟發展。
他沒有透露3nm工廠何時完工、新工藝何時量產，但即便不考慮額外困難和挑戰，最快也得是2023年的事兒了。
即便如此，臺積電仍將大大領先業界巨頭Intel，後者還沒有進入10nm工藝，而按照每代工藝沿用三代產品的步驟，想實現3nm很可能要到十年之後。
張忠謀還預計，臺積電未來三年的收入增幅都會有5-10％。