道教認為度人先度己，倘若從內煉及養生的角度來考察，那麼就是道士自己的內煉修為必須達到相當的境界，方能行持齋法。因為人身體作為小宇宙，萬神居於身體各部，高功以自己的精神調動身中諸神，通過內氣運行達到天人合一。
一、不行修煉，神不附身
歷代高道都認為法師必須經過自己修行會道才有行法濟人的神通。
在《洞玄靈寶說光燭戒罰燈祝願儀》中，陸修靜認為「法師」之職應該是「道德內充，威儀外備，俯仰動止，莫非法式，三界所範，鬼神所瞻，關啟祝願，通真召靈，釋疑解滯，導達群賢。」
張宇初《道門十規》中說：「凡行持之士，必有戒行為先，次以參究為務。先求巖谷明師草衣木食之士，開發萬法根宗，精勵香火，止佩一法一職，苟能晨夕煉神養氣，修持不怠，與神明交格，言行無慊，何患法之不靈，將之不佑。」
《天壇玉格》也認為：「不行修煉，將不附身」。
二、吾身即宇宙，宇宙即吾身
明代成書的《上清靈寶濟度大成金書》在總結前人經驗的基礎上系統闡述了齋法行持內煉的理論基礎、行持齋法的內煉要求及內煉方法。
《上清靈寶濟度大成金書》說：「自古神仙以精思而得道者，多皆誠思之道也。專以我深潛靜定，煉毓陽神，然後密運誠思，當合二者，通為一片精密工夫也。微到意念，則精神自歸源矣。未至於此者，須當靜坐運用乃善。今人行持，多是作用外事，豈知天地萬化盡在我身。泥丸之上即是天宮，雙腎之下即是地獄。兩眉間入三寸曰泥丸，即腦也。腦曰精根，兩腎中間曰丹田，朱陵火府即心宮，泥丸之下亦是河源，即十二經脈之源。東井天河之水，即是神水，上升至泥丸。而下潤者乃五行相生真氣，即是五臟相生真氣。心中運真火，腎中運真水，皆不出身內造化。」「即我元始懸一寶珠，如黍米，在空懸之中，登引千真萬聖也。」
這裡明確了齋法行持內煉理論上說就是依據「吾身即是宇宙，宇宙即是吾身」，頭部的泥丸宮代表上界天宮；泥丸之下是十二河源，即中界，即為人間；而雙腎以下則為下界地獄。所以法師元陽上升天宮之時，必經泥丸，而下拔九幽時則是運神會於雙腎以下之下丹田，更多的神與氣的運作則是在中界進行的。
三、靜思內煉方能登壇行法
在行持齋法內煉要求方面，《上清靈寶濟度大成金書》中說：「吾教建齋之始，必先設置存真之幕，宜當入靖精思，靜神會道，從無入有，混合百神於一心，以有運無，斂藏萬化歸一息，非至學之士，豈知珠內妙化哉」。就是要求高功法師在行持齋法前要靜思內煉，澄心滌慮，做到物我兩忘，運精會神，貫陰陽於一至，這樣才能登壇行法。
關於行持內煉的方法，《上清靈寶濟度大成金書?登壇宗旨門》道法釋義品說：「四曰採煉祖氣，以生聖胎法身。夫謂祖氣者，人人具足，不假外求，學者當明。朝朝存思，守而勿失，真積既久，乃成聖胎。然後見所謂法身，出有入無，神功妙用，與造化流同也。五曰行內練。訣曰五行順則生人，逆則生丹，一毫情慾之萌即耗真氣。
學者常當吐濁納清，收視返聽，使五行真氣攢簇於神室之中，無傾間斷，可以長生久視，可以濟顯度幽。神動則氣隨，無施不可也。六曰黍珠神化。吾身自有始青天浮黎土，黍珠一顆，不用外求，當知此理，散之則彌滿六合，斂之則不盈一握。七曰中理五氣，混合百神。學者當常常持其志，以養其氣，使之歸於元海，聽命於我之元神，則隨所設施混合百神也。」
所以對於齋醮科儀的主壇——高功自身來說，其內功要求非常之高。所以在舉行齋醮科儀時不能只注意外表的動作優美、嫻熟，音樂的悅耳動聽，卻忽視其根本——內煉功夫。