■粵港澳大灣區科創先鋒大賽·先鋒企業樣本⑦
位於中山市火炬開發區明珠路邊，有一家看似不起眼的企業，一臺臺被稱為「高端電子產業的核心裝備」的數位化光刻設備在這裡不斷產出。這家名為中山新諾科技股份有限公司（下稱新諾科技）的高新企業，是目前國內唯一一家擁有數位化光刻技術原始專利的設備製造商。
作為今年中山市20家首批市級創新標杆企業之一，新諾科技產品銷量在疫情之中逆勢上揚，前三季度增長超100%，高峰期日發單金額甚至超過千萬元。「無論環境怎麼變，市場對優質產品的需求是不會變的。」該公司相關負責人認為，「逆勢上揚」歸根結底是技術引領和市場積累的結果，「抓住了核心競爭力，就掌握了市場話語權。」
●撰文：羅麗娟 曾豔春
打破技術壟斷
「無掩模光刻之父」回國創業
故事要從上世紀90年代末開始講起。
那時，一位名叫梅文輝的年輕人在美國球型半導體公司任職，負責研發工作。1998年，梅文輝帶領團隊發明了無掩模數字光刻技術——一項能夠極大地縮短了光刻製程、大幅度降低成本的技術。梅文輝因此成為世界上首位將數字微鏡陣列（DMD）技術應用於光刻領域的科學家，光刻行業稱他為「The Father of Maskless」（無掩模光刻之父）之稱。
2000年開始，日立、富士膠片等大公司紛紛獲得這項專利的授權，把這項技術應用到LCD、PCB等生產領域。但在國內市場上，仍是一片空白。
「我一直希望將這項技術帶回中國。」梅文輝的機會，在2009年出現了。當時，新諾科技的創始人杜衛衝博士在美國矽谷創業成功，在尋求新的科技項目過程中了解到梅文輝的技術，相見恨晚的兩個人對光刻技術的理念一拍即合。2011年，梅文輝作為技術總監全職加入新諾科技，他和杜衛衝一起組建了新的研發團隊。2012年，該團隊獲得「廣東省創新團隊（珠江計劃）」的支持，成為中山市第一支省創新團隊；同年，該團隊研發出第一代無掩模光刻設備樣機，打破國外技術的壟斷，獲得國內外3000多萬元的訂單。
如今，新諾科技的「高端光刻設備創新科研團隊」已從十幾人發展至200多人，核心技術人員佔整個公司的比重近三成。
從2012年起，中山新諾科技股份有限公司在省、市和開發區政府的支持下，以廣東省創新團隊項目為中心，開始全方位進行數位化光刻技術系統性的研發，並且逐步走向國外市場。到2020年9月，新諾科技研發的系列光刻設備超過30個，累計銷售數百臺數位化光刻設備，其中多款光刻設備入選「廣東省首臺套設備」。在廣東省第七屆廣東專利獎名單中，新諾科技的項目「曝光系統、校準系統、光學引擎、曝光方法和製造方法」獲得銀獎，「數位化光刻系統的開發和應用」項目獲得2019年廣東省科技進步二等獎。
技術創新撬動產業發展
中山擬打造無掩模光刻產業園
掌握了數位化光刻技術源頭，就掌握了核心競爭力。梅文輝認為，新諾科技的創新之處，在於研發出新一代無掩模雷射直接成像技術設備：在綜合高功率雷射光纖耦合技術，和以數字微鏡器件（DMD）為基礎的圖像掃描系統基礎上，推出雷射動態成像技術，即ALDI（Advance Laser Dynamic Imaging）。
這是新諾科技的獨創之處。「不是普通的DMD的設備投影技術，我們研發的系統包括一個專門設計的DLP光學引擎，加入微透鏡的裝置可形成『點陣列』的功能。」梅文輝指出，該系統還具有特別的掃描方式和專門設計的光學系統，這讓新諾科技的設備在雷射直接成像技術上擁有獨特優勢。
目前，新諾科技的產品已經銷往美國、歐洲及東南亞國家，世界上首臺雙面的無掩模光刻系統，就是新諾科技研發生產的。
新一代無掩模雷射直接成像技術也在改寫國內的產業格局。隨著國內製造業的轉型升級，新諾科技國內的客戶也越來越多，新一代無掩模雷射直接成像技術逐漸成為行業「標配」，助力國內企業產業升級。
「我們正籌備在科創板上市，目標是將公司打造為一家有核心競爭力的科創板企業。」在中山市2020年民營企業家座談會上，新諾科技總經理劉尚軍透露了近期目標。
當前，火炬開發區正大力推動新諾科技無掩模光刻設備增資擴產項目，計劃在東部片區的深中通道登陸點一帶，支持新諾打造無掩模光刻產業園。「目標是集成組件無掩模光刻產業鏈，把光學元件、機械平臺、感光材料、微產線等相關產業帶動起來。」火炬開發區相關負責人表示。
■觀察眼
唯有穿越風雨，才能抵抗風雨
在新諾科技採訪過程中，筆者在其車間門口留意到了一堵牆：從國際專利到中國專利，在入口處門兩邊各鋪得密密麻麻。
「放不下了，樓上還有一些。」新諾科技創始人杜衛衝博士輕描淡寫地說。很樸素的陳設，說不上更多的審美講究，一如這家企業十餘年來的初心堅守：悶聲把產品研發出來，用技術力量說話。
有「酒香不怕巷子深」的自信並不容易。這得耐得住寂寞，更要跟得上步伐。而其中的「壓艙石」，就是掌握核心科技。
十年前，新諾科技將新一代無掩模光刻技術帶回國內發展時，在國內市場做的是「從0到1」的事。但瞄準了關鍵人物——無掩模數字光刻技術的研髮帶頭人，掌握了核心技術——掌握國際雷射直接成像技術的源頭，並且還擁有市場化的關鍵因素——光刻技術原始專利在世界範圍內的使用權，新諾科技最終迎來「從1到10」的發展新階段。
作為把自主研發、生產和銷售融為一體的高端雷射直接成像（LDI、數位化曝光、無掩模光刻）設備廠家，新諾科技的創業故事質樸無華，卻也格外動人：保持清醒認識，錨定內心追求，通過扎紮實實的努力，耐心等待在自主創新的浪潮中迎來關鍵核心技術的厚積薄發，將發展主動權牢牢掌握在自己手裡。
莫聽穿林打葉聲，何妨吟嘯且徐行。
一如既往地艱苦奮鬥，一如既往地加強核心關鍵技術攻關，一如既往地開放合作。在創新的道路上，唯有穿越風雨，才能抵抗風雨。