12英寸晶片生產線在滬試流片

本報訊 （記者 徐瑞哲）昨天，位於上海張江的華力微電子無人化廠房內，一條12英寸全自動晶片線上，首批55納米工藝產品順著軌道進入流水線，開始試流片。這標誌著總投資135億元的「909」工程升級改造項目，歷經短短16個月，已建成第一條國資控股、超大規模的12英寸集成電路晶片生產線，驗收後將跨入更高工藝級別。

顯微鏡下，一片鍋蓋大小的「晶圓」，集成排布著萬千枚晶片。當今集成電路業界，高端「晶圓」直徑漸大，可達12英寸，約30釐米；同時，代表晶片刻制細密程度的「線寬」漸小，可達45納米以下，即不到0.045微米。專家介紹，一片晶圓從8英寸放大到12英寸，直徑增加50%，單位面積上可產出的晶片數量則增加100%，技術能級翻番，規模效應顯著。

「909」工程始於上世紀90年代第九個五年計劃，是國家發展微電子產業重點工程的代稱。工程建有一條超大規模集成電路生產線，從8英寸、0.5微米技術起步，月加工2萬片「晶圓」。這條線現由上海華虹集團所屬企業運營，月產能已達8.6萬片。 「909」工程升級改造於去年初啟動，由上海華力微電子有限公司建設運營，工藝級別為「90、65、45納米」，月產3.5萬片。新線投運後，上海國資控股的集成電路企業將形成 「12英寸+8英寸」這一國際主流的晶片製造格局，製造大量國內急需的高端集成電路，並具備承擔和支撐國家「核高基」重大科技專項的能力。

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（上接第1版）據了解，上海作為國家級微電子產業基地、國家級集成電路研發中心所在地，是國內集成電路產業集聚度和配套程度最高的地區之一。

全市現有4英寸、6英寸、8英寸等規格的10餘條生產線，但此前僅有一條用於研發的12英寸小產量線。這條12英寸量產線在國內率先實現全自動高效率生產，其矽片搬運系統由3246米軌道和100臺搬運小車組成，每小時能完成1400多項搬運指令，抵得上一個班次300多號人力。

市經濟和信息化委透露，新生產線將主要面向國內市場，計劃一半以上產能滿足內需，加強我國信息產業晶片供應的自主可控。運營方華力微電子已提交142項工藝專利申請，全年計劃完成500項專利申請，今年第四季度開始45納米產品的工藝研發。