先來羅列一下，一些代表性的電子氣體；某些氣體只作用在一個環節，某些氣體適用多個環節；
氧氣O2、氮氣N2、氫氣H2、氦氣He、氨氣NH3、一氧化碳CO、二氧化碳CO2、氬氣Ar、氖氣Ne、氪氣Kr、氙氣Xe、六氟化硫SF6、八氟環丁烷C4F8、三氟甲烷CHF3、氫化鍺GeH4、三氯氫矽SiHCl3、甲矽烷SiH4、四氯矽烷SiCl4、磷化氫PH3、二氯矽烷SiH2Cl2、乙硼烷B2H6、砷化氫AsH3、三氟化氮NF3、一氧化二氮N2O、三氟化氯ClF3、氯化氫HCl、溴酸Hbr、三氯化硼BCl3、三氟化硼BF3、氯氣Cl2#氯氣#、六氟丁二烯C4F6、碳醯氟COF2、三氟碘甲烷CF3I、四氟化碳CF4、六氟乙烷C2F6、全氟丙烷C3F8、五氯化鎢WCI5、二氧化硫SO2、丙烯C3H6，等等
電子氣體純度
電子氣體大致被分成七種：外延晶體生長氣、摻雜氣體、離子注入氣、氣相沉積CVD氣體、刻蝕氣體、平衡氣體或稱反應氣體、摻雜配方氣體等等。
不妥之處歡迎聯繫指教。
HCl