如果給現代科技進行一個排名的話，那麼光刻機絕對是榜上有名。光刻機幾乎是目前人類科技所能達到的最高水準了，這可不是我誇大其詞，而是因為一部光刻機當中高達100000的零件，其組裝難度是非常高的，而相比之下，汽車也才兩三萬的零件數量。
光刻機是製造晶片的頂級設備，核心技術主要在於「極紫外光源，光學鏡頭和雙工作檯」這三個方面，100,000個零件和3,000多個電路，其製造難度可想而知。沒有任何一個國家能夠單獨製造出光刻機來，即便是荷蘭的ASML集團，使用的也是美國的極紫外光源，日本和德國的光學設備以及瑞典的軸承零件。
而中國的上海微電子交付28納米光刻機已經是我國目前能夠達到的最高水準的技術了。美國專家：光刻機核心部件僅ASML掌握，然而中國民企用4年時間攻克！中國光刻機本地化的道路從未停止過，但是我們想要自己掌握光刻機核心技術無疑還需要很多的年頭。
然而，光刻機技術短時間內無法突破，但是光刻機的三項核心技術上，我們卻是已經取得了突破。極紫外光源技術早已成為國家科技重大專項，其中極紫外光刻機關鍵技術研究已通過驗收。而ASML獨特的雙工件臺技術，中國民營企業華卓精科已經突破了納米級限制，成為世上第二家擁有這項技術的公司。
製作晶片的過程等同於在矽晶片上「畫」電路圖。雙工作檯可以使晶片的曝光和測量同時進行，從而大大提高了晶片的生產率和效率。也許大夥可能還不知道，中國早在1970年代就進入了光刻機領域。然而可惜的是，清華大學開發的步進式光刻機由於當時晶片市場不大而沒有得到推廣。
這也使得中國在光刻機道路上失去了先機，這一失就是十幾年的差距。2012年，朱瑜與清華集成電路設備團隊的7名成員共同成立了華卓精科。目標是徵服光刻機的超精密雙級技術。在幾年的時間裡，華卓精密的雙階段原型機在原始技術積累和國家專項資金的支持下，已經通過了國家重大科技項目的驗收。
如今雖然我國的光刻機技術確實是不如荷蘭的ASML，但是在幾大關鍵性技術上，我國已經早有突破，我們欠缺的僅僅只是將它們「組裝起來」。當然說起來容易，做起來難，我國還需要很長的一段時間才能夠在這個領域上面完成突破。