在整個晶片製造過程中,幾乎每一道工序都離不開光刻機的光刻技術,而由於光刻機的技術難度極高,目前全球只有少數國家能夠製造。其中,荷蘭ASML是全球唯一一家能夠生產頂尖EUV光刻機的廠商。之前中國中芯國際曾向荷蘭ASML訂購了一臺最新型的EUV光刻機,本應於2019年初交付,然而卻不斷遭到美國方面的阻撓,交易至今仍未完成,不過前不久從荷蘭ASML進口另一臺大型光刻機順利到貨。前不久,中芯國際深圳公司成功進口一臺荷蘭ASML大型光刻機,目前已順利進入深圳廠區,據知這臺光刻機主要被用於生產線的擴容。雖然該光刻機並非最先進的EUV光刻機,然而其卻能夠繼續擴大我國14納米晶片的產能,預計全年可為企業增加10%左右的盈利。
另外根據近期中芯國際發布的公告我們了解到,其已經花費了17億美元用於向各公司購買半導體設備,這將更加有利於提高國產晶片的產量,更大程度地滿足我國企業對晶片的需求。根據中芯國際CEO的說法,當14納米晶片的產能達到每個月1.5萬後將不再提升,轉而試產更新的工藝,例如相當於臺積電7納米工藝級別的N+1、N+2代工藝等,據稱14納米工藝包括改進型的12納米工藝產能將在12月時達到1.5萬,也就是說中芯國際的N+1、N+2代工藝也將陸續在今年年底開始試產。
而我們知道,14納米晶片成功實現量產不過是一年前的消息,僅僅一年多的時間,中芯國際就從14納米工藝製程階段進入了7納米晶片製程階段,這令美國媒體感到驚訝:中國晶片研發速度及製造技術超乎意料,中國7納米晶片時代即將來臨。
中國科學院光電技術研究所曾於日前傳來消息稱,其成功研製出了全球首臺分辨力最高的紫外超分辨光刻機,其光刻分辨力達到22納米,可用於製造10納米級別的晶片。因此,我們相信即使沒有他國的「援助」,中國科學家們或許也能夠依靠自己的聰明才智攻克光刻機的難關,製造出更加先進的光刻機。無論前路多艱辛,我國研發人員也始終沒有放棄對於光刻機的研製,相信我國終將會啃下"光刻機這塊"硬骨頭」,中國晶片技術未來可期。
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