通訊員 揚工信 記者 嵇尚東
近日，從中科院蘇州納米所傳來喜訊：揚州群發換熱器有限公司委託該所試樣的OPA3D固態雷射雷達晶片獲得成功。「下一步，我們將搭建光電晶片測試平臺，融資建設中試線，計劃在2-3年內實現產業化。」揚州群發董事長莊雅婷介紹。
OPA3D固態雷射雷達晶片試製成功，是揚州半導體產業強鏈擴鏈的生動細節。市工信局有關人士介紹，半導體產業分為集成電路（晶片）、分立器、傳感器等，目前我市半導體產業主要集中在分立器和傳感器領域，共有規模以上企業18家。近年來，我市出臺多項政策引導企業強化科技創新，加快「補鏈強芯」，不少企業正在向我市半導體產業鏈短板——集成電路製造挺進。
引進晶片前沿技術，海歸人才領銜企業「二次創業」
相比傳統機械雷達，OPA3D固態雷射雷達將機械部件功能集成在晶片上，掃描精度和效率更高，且圖像是三維立體化輸出，被普遍認為是無人駕駛汽車的關鍵部件。此外，該晶片在智能安防、智慧醫療領域也有廣泛應用前景，是全球企業爭奪未來視覺掃描市場的焦點。
晶片設計涉及計算仿真、微納米加工等多學科前沿技術。揚州群髮長期生產汽車的冷卻系統，實現從汽車零部件到晶片的跨越，緣於整合國內外高校的最新研究成果。
去年，一位國際知名教授來揚訪問，莊雅婷得知這位教授正在研發OPA3D固態雷射雷達技術。經過這位教授牽線，莊雅婷從其供職的高校獲得授權，在揚州落地轉化晶片技術。
莊雅婷12歲時，父親送她出國留學。3年前，父親一個電話，莊雅婷放棄國外工作歸國，在揚州群發多個崗位歷練後，接棒父親出任董事長。
「揚州是個好地方，是父親創業的福地。」莊雅婷表示，「我也相信，揚州群發經過『二次創業』，會成為揚州集成電路產業的骨幹企業。」
與韓國技術團隊合作，在揚創業的行業大咖研發晶片製造設備
揚州群發在中科院蘇州納米所試製晶片時，揚州思普爾科技正在與韓國技術團隊緊密合作，研發半導體晶片製造用等離子去膠機、塗膠機和顯影機等關鍵工藝設備，力爭早日實現量產，打破國外的技術壟斷。
集成電路產業鏈由設計、製造、封測三個子產業以及支撐配套環節（材料、設備）構成。目前，揚州在集成電路的製造設備產業上還是空白。「預計明年3-4月項目到國內轉產，屆時，將為國內晶片製造企業提供更多選擇，助力國內大規模集成電路和第三代化合物半導體晶片製造業的發展。」思普爾科技總經理張桂陽介紹。
思普爾科技從事半導體工藝設備的研發、生產與技術服務，2018年落戶邗江科技企業上市基地，當年銷售1600萬元，今年預計銷售過億元。
思普爾科技的核心高管，都曾在國內知名科研院所或海外半導體機構擔任研發高管，具有豐富的工廠化技術實踐經驗。張桂陽介紹，2010年，他和技術團隊從香港來揚，幫助一家企業建設生產線，項目結束後，就留在揚州創業。
「揚州是個好地方，是創新的沃土。」張桂陽說，「在邗江科技企業上市基地的牽線搭橋下，我們與揚大聯合開展科技協同攻關，此外建設專業實驗室也得到了資金扶持。」
整合眾多名校資源，7名教授研發團隊完成高純度電子氣體中試
在江都經濟開發區，一個等離子集成電路清洗設備項目預計明年3月投產，將填補我市在集成電路清洗（淨化）設備上的空白。該項目通過自主研發的技術，在集成電路等離子體刻蝕工藝中實現廢液零排放。
「揚州是個好地方，營商環境一流，是企業發展的寶地。」該項目生產經理張斌介紹，「落戶後，揚州不但給予了我們千萬元天使基金扶持，而且提供了3000平方米廠房，讓我們有了更大發展空間。」
集成電路製造專用材料環節中，我市僅有少數企業涉足矽片和矽基材料，在電子氣體、光刻膠、掩膜版等領域尚屬空白。
高純度電子氣體，是集成電路製造中的基礎性材料，生產技術長期被國外氣體公司壟斷。
今年8月，揚州摩笛爾電子材料有限公司完成「特摩爾」高純度電子氣體的中試，量產後將填補我市產業鏈上的空白。
揚州摩笛爾能夠打破壟斷，緣於核心團隊的7位教授整合哈爾濱工業大學（深圳校區）、華東理工大學、西南科技大學、上海交大的實驗室資源，在原始技術創新、工程設計、技術應用等環節實現了突破。
「產品研發成功，離不開揚州各級政府部門的大力支持。」楊先金博士介紹，「揚州在資金扶持上給我們很大幫助，我們有信心早日把企業做大做強。」
責任編輯：SLP
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