《科創板日報》（上海，研究員 何律衡）訊，本周二（25日），全球晶圓代工龍頭臺積電舉行線上技術論壇，除了披露旗下最新工藝製程情況外，同時公布了其擴產及研發計劃。業務開發資深副總經理張曉強表示，公司5nm製程再次領先全球，率先進入量產，並確定引入EUV技術，明年還將在目前N5工藝上，推出加強版N5P工藝。
5nm到3nm安排上了
據張曉強介紹，臺積電已為其5nm、4nm、3nm製程初步定下量產時間表：
其中，5nm製程將分為N5工藝以及加強版N5P工藝，N5工藝較同一時期量產的7nm N7工藝，速度提高15%，功耗降低30%，邏輯電晶體密度增1.8倍，良率也有所提高，N5P工藝則在N5工藝的基礎上性能再次提升，預計明年量產。
5nm以下先進位程方面，4nm是建立在5nm平臺上，把5nm效能與功耗進一步向前推進，4nm與5nm互相兼容，計劃2021年第四季試產、2022年量產；3nm則將沿用FinFET製程，且為全新的節點技術，與5nm相比，速度增加10%至15%，功耗降25%至30%，邏輯電晶體密度增1.7倍，預計2022年下半年量產。
此外，張曉強還表示，2019年下半年提到的6nm製程，目前已進入試產，除了提高7nm的效能，最大的好處是平臺兼容性，沿用客戶投資並得到回報。
特殊製程方面，臺積電還介紹了專為IoT、移動和邊緣設備等低功耗設備而設計的N12e工藝，該工藝是臺積電12 nm FinFET節點的增強版，擁有更低功耗、更高性能，支持超低漏電器件和低至0.4V的超低Vdd設計。
擴產、研發齊頭並進
技術上領先，臺積電自然也不會在產能、研發上落後。在25日的技術論壇上，臺積電營運組織資深副總經理秦永沛表示，臺積電每年投資超過100億美元，確保產能高居全球第一，並大幅超越第二名公司3倍以上。據其透露，目前臺積電規劃5nm及3nm將於南科生產，而2nm則落腳在新竹廠區，正取得土地中。
秦永沛進一步指出，位於南科的晶圓18廠1至3期是5nm量產基地，其中，1、2期已開始量產，3期正在裝機，預計2022年5nm產能將較今年成長超過3倍。另外，南科晶圓18廠的4至6期，規劃為3nm量產基地，目前正興建中，南科廠區也將新建特殊製程與先進封裝廠。
至於臺積電新竹廠區研發中心已開始興建，預計2021年完工，未來將是2nm及更先進技術的研發重鎮；另一方面，新竹廠區預計2nm生產基地，目前正在取得土地。
在極紫外光（EUV）技術方面，秦永沛指出，臺積電EUV機臺佔全球比重達50%，晶圓移動佔全球比重更超過60%；在特殊製程技術方面，臺積電特殊製程產能持續成長，2015年佔總產能約38%，今年特殊製程產能將較去年成長10%，約佔總產能比重將達54%。
另據張曉強透露，臺積電新建的R&D研發中心，會有一條全世界最領先的半導體研發生產線，預計在2021年建成，將容納8000位科學家和工程師。臺積電將繼續研發、投資、創新，帶動半導體新技術的開發。
繼上周宣布完成第10億顆7nm晶片量產工作後，臺積電的全新「日程表」再次向世界證明了其晶圓代工絕對霸主的實力。相較於第二大晶圓代工商三星5nm量產計劃屢屢受挫、英特爾7nm晶片自產計劃瀕臨流產，臺積電的先進位程量產進度，可謂順風順水，「一騎絕塵」。
2019年年報顯示，臺積電全年為499個客戶生產10761種不同的晶片，在半導體製造領域市場佔有率達52%。而據拓撲產業研究院整理的2020年上半年全球前大晶圓代工營收排名數據，臺積電的營收更是超過2-9名代工營收的總和。