MEMS 發表於 2020-12-23 10:40:47
據麥姆斯諮詢報導，多年默默耕耘的法國microLED顯示器初創企業Aledia已在CEA-Leti中試線實現300mm（12英寸）矽晶圓microLED晶片的開發生產。
Aledia率先推出了具有突破性意義的microLED顯示技術，並宣布已製造出全球首批300mm（12英寸）矽晶圓microLED晶片。
Aledia在過去八年裡一直採用200mm（8英寸）矽晶圓進行技術開發，將實現8英寸和12英寸晶圓生產。
Aledia發布全球首批12英寸矽晶圓microLED晶片
Aledia表示，隨著電子器件的關鍵尺寸向更小的工藝節點推進，大尺寸晶圓可提供更高的經濟效應，只有12英寸矽晶圓才能滿足需求。2012年，Aledia從法國研究機構CEA-Leti剝離出來後，專注於開發微米/納米技術。Aledia和CEA-Leti的聯合團隊已經完成了基於12英寸晶圓的microLED晶片開發工作。
Aledia執行長兼聯合創始人Giorgio Anania表示：「我們相信，在12英寸矽晶圓上生產microLED仍屬世界首創之舉，為這項技術帶來了巨大的潛在批量生產能力。」
「晶圓尺寸增大，可以在單片12英寸晶圓上製造出60~100片智慧型手機顯示屏，而當前LED行業標準4英寸藍寶石襯底大約只能製造4~6片。Aledia的納米線LED技術（3D LED）採用標準厚度為780µm的矽晶圓，利用現有的工藝和設備就能實現。」
傳統的平面2D microLED是通過將氮化鎵（GaN）平坦層沉積在直徑為100mm（4英寸）和150mm（6英寸）的藍寶石晶圓上實現，如今多數晶圓尺寸還是4英寸。
Aledia的microLED技術是在大尺寸矽晶圓上生長出GaN納米線（直徑為亞微米級的GaN晶體），稱其為「3D」。2D晶片會出現應力問題，並且應力會隨著晶圓尺寸的增加而累積。但3D納米線技術不會出現應力問題，因此可以使用超大尺寸晶圓。
此外，這種矽基技術能夠直接在傳統的矽晶圓代工廠中完成生產，迅速上量，並以極高的良率進行量產。
CEA-Leti執行長Emmanuel Sabonnadière表示：「很高興能幫助Aledia在我們的12英寸矽基生產線中推進3D LED製造的最新水平。3D納米線microLED有滲透到大型顯示器市場的巨大潛力。CEA-Leti積極支持顯示器行業向microLED技術的過渡。」
各種顯示技術的特性對比
（來源：《MicroLED顯示技術、市場及機遇-2020版》）
Anania補充說：「我們認為，大尺寸晶圓、在矽基晶圓代工廠生產，這兩點是保證為最終用戶批量交付產品的唯一方法。例如，如果僅將60英寸以及更大尺寸的大屏幕電視採用矽納米線技術以獲得更好的圖像質量和更低的製造成本，那麼每年將需要2400萬片12英寸晶圓。如此大的需求量，只有矽基晶圓產業鏈才有能力交付。智慧型手機、筆記本電腦和平板電腦將是最重要的市場。」
責任編輯：xj
原文標題：法國初創公司Aledia首推12英寸矽晶圓microLED晶片
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