集微網消息 6月15日，賽微電子接受投資者提問時表示，公司一直為全球光刻機巨頭廠商提供透鏡系統MEMS部件的工藝開發與晶圓製造服務，ASML目前為公司MEMS業務的前十大客戶。
目前，賽微電子主營業務包括半導體與特種電子兩塊，其中半導體業務近年來所佔份額逐步擴大，也已成為公司未來的戰略發展方向。
賽微電子稱，MEMS是集成電路中的一種特色工藝，並不單純追求線寬，而是注重晶片的功能性，精度在250-1000納米之間，公司是全球領先的純MEMS代工廠商，MEMS技術達到國際領先水平，當前正在北京建設規模產能，期待能夠為國產替代貢獻一份自己的力量。
據了解，目前賽微電子北京MEMS產線基地廠房建設接近尾聲，主廠房及支持層區已接近完工；動力廠房各功能系統已安裝到位；大宗氣站與化學品庫已建設完畢；辦公樓層與倒班公寓已啟動裝修；一期產能所需潔淨室已準備就緒，一期產能所需設備均已入廠，廠務系統已開始運轉調試並開始進行生產設備的搬入及安裝調試，目前正在進行生產設備的二次配管配線的施工，並將陸續開始全產線的廠務系統及生產設備的運轉調試。
賽微電子董事會秘書、副總經理張阿斌表示，若後續進展順利，北京MEMS產線的一期1萬片/月產能預計將在今年第三季度建成並投入使用。後續產能安排取決於市場需求及產線運營情況。
在設備採購方面，賽微電子北京MEMS產線的廠務系統設備及一期產能所需工藝製造設備均已完成採購，全部完成了清關手續並均已搬入工廠並正在加緊安裝。張阿斌稱，北京MEMS產線的設備主要從主要從荷蘭、美國、日本等知名半導體設備廠商採購，因為MEMS是集成電路的一個專業分支，國內專門供應商較少，同時作為公司在本土建設的第一條商業規模量產線，為確保產線能夠儘快投入運營並加快產能及良率爬坡，公司的基本思路是在工藝參數、設備配置等方面完全複製瑞典Silex8英寸產線，因此廠務系統設備國內外採購均有，比較均衡，有一部分是屬於合資廠商或外資廠商的境內公司；但一期工藝製造設備目前從數量和金額上看均是以海外採購為主，今後公司可以根據實際情況逐步提高國內設備的採購比例。(校對/Lee）
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