晶片等離子清洗機朗繆爾振蕩和振蕩頻率

2020-12-16 騰訊網

等離子體內由於粒子熱運動等原因出現電荷分離時會產生強電場,但宏觀電中性的晶片等離子清洗機等離子體具有強烈的恢復趨勢。在等離子體中由於電子的質量小,電子運動是等離子體集體運動的根本原因。下面以一維運動為例進行說明。設某一區域內的電子以相同速度沿x方向移動產生位移δ,使該區域的兩邊出現正負電荷過剩區,從而產生電場E。

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該電場的方向是將電子拉回平衡位置,以恢復晶片等離子清洗機等離子體的電中性。然而,由於慣性作用,電子並不會在平衡位置停止,而是衝過平衡位置並反向達到位移。這樣又會在相反方向引起電荷分離,產生反向回復 電場,電子再次被拉回,並衝過平衡位置。如此反覆,電子在平衡位置附近來 回做集體振蕩。由於離子質量較大,對電場的變化響應很慢,可近似認為不動,仍作為均勻的正電荷背底。等離子體中這種電中性被破壞時產生的空間電荷振蕩。由於一開始發現的人是朗繆爾,所以又稱為「朗繆爾振蕩」。朗繆爾振蕩是等離子體固有的特徵之一,其振蕩頻率稱為「等離子體頻率」。

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朗繆爾振蕩周期的物理意義如下:

(1)晶片等離子清洗機等離子體對粒子熱運動引起的電荷分離具有阻止作用,振蕩周期是等離子體阻止電荷分離並轉入朗繆爾振蕩的時間;

(2)振蕩周期是等離子體電中性條件成立的小時間尺度,只有在時間間隔 t>tp的範圍內等離子體才是宏觀電中性的;

(3)振蕩周期是等離子體存在的時間下限,即等離子體持續時間t>>tp。

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