高抗彎強度微波介電LTCC基板材料的研究

2021-03-02 先進陶瓷展

隨著太空飛行器及衛星載荷對電子設備的體積與質量的要求提高,對新材料及新工藝的需求愈發迫切。低溫共燒陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics, LTCC)基板材料作為MCM多晶片微組裝工藝的首選材料,對於減小太空飛行器載荷的體積與質量,適應空間極端環境具有重要意義。因此,LTCC材料除要求電性能外,良好的機械性能對提升LTCC基板載荷能力和可靠性是至關重要的[1-3]。

Shinya Kawai等提出,在LTCC材料中增加玻璃粉中析出晶相的數量和減少殘餘玻璃相的數量,或在微觀結構中引入各向異性晶相,各向異性晶相通過裂紋偏轉和改變裂紋擴展方向可提高抗彎強度[4]。然而,LTCC材料需要兼顧其他性能和應用工藝,單純引入各向異性晶相或者減小殘餘玻璃相將導致其它性能惡化和應用受限;Kim等[5-6]也針對LTCC材料的抗彎強度進行實驗和分析,但所製備材料的抗彎強度僅為167MPa。經過多年的研究,Murata和Kyocera等廠商相繼開發出LTCC基板封裝用高抗彎強度材料,並應用於高可靠領域,在材料開發和保證產品質量等方面均具有領先優勢。目前,國內研究單位對LTCC基板材料展開了一些研究[7-10],但關於高抗彎強度LTCC材料的研究尚處於空白狀態。

CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃是已知具有良好微波介電性能的LTCC基板材料,但其抗彎強度低於200MPa。氧化鋁具有較高的抗彎強度和良好的微波介電性能,但燒結溫度高於1350℃。本文選用氧化鋁為填料,選用MgO、ZnO、ZrO2部分取代CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃中的CaO,獲得微晶玻璃作為低溫相,以獲得一種高抗彎強度微波介電LTCC基板材料,並研究其燒結特性、介電性能、抗彎強度、熱導率,及與電極漿料Ag、Au的匹配性。

相關焦點

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