掃描電子顯微鏡探針原位電學特性測量裝置

　　摘要
本實用新型涉及的掃描電子顯微鏡使用的探針原位電學特性測量裝置，包括一個或多個原位電學特性分測量器、電子源、電學性質測試儀器和內裝加熱器的樣品臺；所述多個原位電學特性分測器以樣品臺為中心環繞樣品臺均勻分布，其結構分別為：一鎢探針固定在金屬測量杆的一端，金屬測量杆另一端套裝絕緣套並與三維調節杆相連，一測量導線一端與金屬測量杆相連，另一端套裝導線絕緣套並穿過真空室與電學性質測試儀器電連接；電子源位於樣品臺的正上方，之間設置有電磁透鏡；可實現對掃描電鏡所觀察到的微區範圍進行直接的電學性質的多功能測試，具有性能可靠，接觸良好的、安裝簡便、結構簡單和使用安全的特點，拓展了掃描電鏡的功能。
掃描電子顯微鏡使用的探針原位電學特性測量裝置
一種掃描電子顯微鏡上使用的探針原位電學特性測量裝置，其特徵在於，該探針原位電學特性測量裝置包括一個或多個原位電學特性分測量器、電子源（１２）、電學性質測試儀器（１５）和內裝加熱器（９）的樣品臺（８）；所述原位電學特性分測器的結構為：一鎢探針（１）固定在金屬測量杆（３）的一端，金屬測量杆（３）另一端套裝絕緣套（４）並與三維調節杆（５）相連，一測量導線（６）一端與金屬測量杆（３）相連，另一端套裝導線絕緣套（７）並穿過真空室（１１）與電學性質測試儀器（１５）電連接；電子源（１２）位於樣品臺（８）的正上方，之間設置有電磁透鏡（１３）。
詳細介紹

專利號:200320100222申請日:2003年10月10日公開/公告日:授權公告日:2006年1月11日申請人/專利權人:中國科學院物理研究所國家/省市:北京(11)郵編:100080發明/設計人:顧長志、竇豔、郭烈陽代理人:王鳳華專利代理機構:(11280)專利代理機構地址:()專利類型:發明公開號:0000000公告日:2006年1月11日授權日:20公告號:2751297優先權:審批歷史:附圖數:1頁數:4權利要求項數:1

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