電子顯微鏡新型電子源問世

2021-01-09 中國科學院

近日,日本物質材料研究機構的研究人員開發出一種新型電子源,有望使電子顯微鏡的識別和測定能力得到飛躍式提高。

據介紹,開發出這種新型電子源的是日本物質材料機構的兩名華人科學家,一次元材料組組長唐捷和研究員張涵(音譯)。為了大幅度提高電子顯微鏡的性能,他們重點進行了新型電子源的開發,同時在電子放射方法方面也進行了創新。

目前,電子顯微鏡普遍使用金屬元素鎢作為電子源,而化合物六硼化鑭(LaB6)作為電子源雖然在性能上超過鎢,但其硬度超過鎢一倍以上,如果沒有合適的加工方法很難實現應用。此次研究人員使用了一種叫化學氣相堆積法的方法,首先製成了單結晶的六硼化鑭納米線,然後使用電界蒸發的方式除去了納米線表面的不純物質,從而成功開發出了新型電子源。與以往通過高溫加熱熱源,使之放射出熱電子的方式相比,新型電子源採用的是以極高的亮度放射出超細電子束的電界放射方式。

在電子顯微鏡技術領域,日本過去一直領先世界,透過式電子顯微鏡和掃描式電子顯微鏡也一直是日本重要的技術出口產品,但目前在該領域日本已經被美國和德國超越。研究人員稱,前段時間日本已經開發出新型高性能鏡頭,如果配上此次開發成功的六硼化鑭單結晶納米線電界放射型電子源,將有望使日本重新奪回透過式電子顯微鏡世界領先地位。

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