詳解三軸陀螺儀的技術原理

　　在一定的初始條件和一定的外在力矩作用下，陀螺會在不停自轉的同時，還繞著另一個固定的轉軸不停地旋轉，這就是陀螺的旋進（precession），又稱為迴轉效應（gyroscopic effect）。

本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/201710/366191.htm

　　陀螺儀的種類很多，按用途來分，它可以分為傳感陀螺儀和指示陀螺儀。傳感陀螺儀用於飛行體運動的自動控制系統中，作為水平、垂直、俯仰、航向和角速度傳感器。指示陀螺儀主要用於飛行狀態的指示，作為駕駛和領航儀表使用。

　　我們現在常接觸的便是電子式的陀螺儀，有壓電陀螺儀，微機械陀螺儀，光纖陀螺儀，雷射陀螺儀等，並且還可以和加速度計，磁阻晶片，GPS，做成慣性導航控制系統。

　　MEMS陀螺儀基本技術原理

　　要想將陀螺儀技術應用於手機、MID、手柄、滑鼠、數位相機這樣的小型設備中，將傳統陀螺儀小型化是必然，為此，MEMS陀螺儀正全面走進數碼設備、遊戲設備。MEMS是什麼呢？MEMS（Micro ElectroMechanical systems，微電子機械系統）是建立在微米/納米技術基礎上的前沿技術，其是一種可對微米/納米材料進行設計、加工、製造、測量和控制的技術。它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一整體單元的微型系統。

　　MEMS產品已被廣泛地應用於。。。數位相機（防抖防震器件，使用MEMS陀螺儀產品即便在持續震動的環境中，也能準確地進行歸零的動作）、筆記本電腦或MID、手機（如加速度計）、MP3/MP4、遊戲機等消費電子產品中。陀螺儀利用這種技術，可在矽片上形成微米尺度的精密諧振結構，用來感應角速度的大小和方向。

　　與傳統的利用角動量守恆原理的陀螺儀相比，MEMS陀螺儀使用了不同的工作原理。傳統的陀螺儀是一個不停轉動的物體，其轉軸的指向不隨承載它的支架旋轉而變化。要把這樣一個不停轉動的沒有支撐的能旋轉的物體用微機械技術在矽片襯底上加工出來，顯然難上加難。為此，MEMS陀螺儀在基於傳統陀螺儀特性的基礎上利用科裡奧利力來實現了設備的小型化。什麼是科裡奧利力呢？科裡奧利力（Coriolis force）也就時常說的哥裡奧利力、科氏力，它是對旋轉體系中進行直線運動的質點由於慣性相對於旋轉體系產生的直線運動的偏移的一種描述，其來自於物體運動所具有的慣性，由於地球自轉運動而作用於地球上運動質點的偏向力就是這樣的代表，地轉偏向力有助於解釋一些地理現象，如河道的一邊往往比另一邊衝刷得更厲害。

　　MEMS陀螺儀是科裡奧利力的最常見應用，MEMS陀螺儀利用科裡奧利力（旋轉物體在徑向運動時所受到的切向力），旋轉中的陀螺儀可對各種形式的直線運動產生反映，通過記錄陀螺儀部件受到的科裡奧利力可以進行運動的測量與控制。為了產生這種力，MEMS陀螺儀通常安裝有兩個方向的可移動電容板，「徑向的電容板加震蕩電壓迫使物體作徑向運動，橫向的電容板測量由於橫向科裡奧利運動帶來的電容變化。」這樣，MEMS陀螺儀內的「陀螺物體」在驅動下就會不停地來回做徑向運動或震蕩，從而模擬出科裡奧利力不停地在橫向來回變化的運動，並可在橫向作與驅動力差90°的微小震蕩。這種科裡奧利力好比角速度，所以由電容的變化便可以計算出MEMS陀螺儀的角速度。

　　

　　三軸角速度與旋轉速率成正比

　　以意法半導體的MEMS陀螺儀為例，其核心元件是一個微加工機械單元，在設計上按照一個音叉機制運轉（音叉機制的工作原理是通過安裝在音叉基座上的一對壓電晶體使音叉在一定共振頻率下振動，當音叉開關的音叉與被測介質相接觸時，音叉的頻率和振幅將改變，音叉開關的這些變化由智能電路來進行檢測，處理並將之轉換為一個開關信號）。電機驅動部分通過靜電驅動方法，使機械元件前後振蕩，產生諧振，利用科裡奧利力把角速率轉換成一個特定感應結構的位移，兩個正在運動的質點向相反方向做連續運動。只要從外部施加一個角速率，就會出現一個力，力的方向垂直於質點的運動方向。產生的力使感應質點發生位移，位移大小與所施加的加速度速率大小成正比，位於旁邊的傳感器就能感應出在定子和轉子之間引起的電容變化，從而實現操控功能。並且，由於在控制電路內部嵌入了先進的電源關斷功能，可以在不需要傳感器功能的時候關閉整個傳感器，或讓其進入深度睡眠模式，便可大幅降低陀螺儀的總功耗。從而像手機等可攜式設備就會由此獲得更長的續航時間。

　　MEMS陀螺儀技術發展方向

　　在蘋果公司的iPhone和任天堂公司的Wi i遊戲機的推動下，「運動傳感」概念深入人心，具備微型化智能化特徵的MEMS陀螺儀正成為用戶關注的焦點，正成為消費類電子設備運動傳感的關鍵器件。著名市場研究顧問機構Yole Development最新預測，MEMS陀螺儀、加速度計和磁感應器的銷售額在2013年將達到45億美元的規模。

　　先進工藝是保障MEMS陀螺儀技術得以走向現實的基礎。MEMS加工除了使用大量傳統的IC工藝外，還需要一些特殊工藝，如雙面刻蝕、雙面光刻等。通過在晶圓階段整合MEMS晶圓與相對應的CMOS電子電路，目前產品已能將MEMS陀螺儀產品的封裝縮小到mm級，最大厚度也僅為1mm左右，同時還能提供更高的效能、更低的噪聲，與更低的半導體封裝成本。新一代MEMS陀螺儀已普遍具備體積小、功耗低、精度高、成本低等諸多優點

　　三軸MEMS陀螺儀結合三軸MEMS加速度計實現的所謂六軸產品。三軸陀螺儀可以同時測定6個方向的位置、移動軌跡和加速度。

　　從MEMS陀螺儀的應用方向來看，陀螺儀能夠測量沿一個軸或幾個軸運動的角速度，可與MEMS加速度計（加速計）形成優勢互補，如果組合使用加速度計和陀螺儀這兩種傳感器，設計者就能更好地跟蹤並捕捉三維空間的完整運動，為最終用戶提供現場感更強的用戶使用體驗、精確的導航系統以及其它功能

　　為此，應用這方面技術的前沿廠商InvenSense（應美盛）公司的專家認為：「要準確地描述線性和旋轉運動，需要設計者同時用到陀螺儀和加速度計。單純使用陀螺儀的方案可用於需要高解析度和快速反應的旋轉檢測；單純使用加速度計的方案可用於有固定的重力參考坐標系、存在線性或傾斜運動但旋轉運動被限制在一定範圍內的應用。但同時處理直線運動和旋轉運動時，就需要使用陀螺儀和加速度計的方案。」

　　此外，為讓設計和製作的陀螺儀具有較高的加速度和較低的機械噪聲，或為校正加速度計的旋轉誤差，一些廠商會使用磁力計來完成傳統上用陀螺儀實現的傳感功能，以完成相應定位，讓陀螺儀術業有專攻。這表明，混合的陀螺儀、加速度計或磁感應計結合的方案正成為MEMS陀螺儀技術應用的趨勢。

　　InvenSense的營銷總監Doug Vargha亦為此表示：「若只使用傳統的加速度計，用戶得到的要麼是反應敏捷的但噪聲較大的輸出，要麼是反應慢但較純淨的輸出，而如將加速度計與陀螺儀相結合，就能得到既純淨又反應敏捷的輸出。」

　　後記，MEMS陀螺儀大有可為

　　智慧型手機大廠HTC技術顧問Jidesh Veeramachaneni對此表示：「MEMS陀螺儀技術已成為智慧型手機開發者討論得最多的話題，預期在明年該技術將成為智慧型手機的標配，用戶可以通過陀螺儀獲得包含遊戲在內的很多新的體驗，例如你可用手機更方便地玩擊劍遊戲。」為此，包含ST、InvenSense、Kionix、Bosch Sensortec、ADI、Freescale等在內的廠商都紛紛投入這一市場，以期在未來的競爭中獲得更多的發言權，這預示著未來的MEMS陀螺儀市場將變得更精彩，MEMS產業的競爭將白熱化，三軸陀螺儀成本全面跌破1美元指日可待。當然，除了在硬體配置上獲得突破性應用外，相關遊戲或程序開發廠商如何開發出能充分體現出這種特性應用的程序也是關鍵，這亦將直接決定標配有該功能的產品在市場上的受歡迎程度。