2012年上市新品盤點:電鏡

2020-11-30 儀器信息網

　　新產品和新技術體現了相關行業的技術發展趨勢，定期推出一定數量的新產品和新技術是一個儀器企業創新能力的具體表現。儀器信息網「半年新品盤點」旨在將最近半年內推出的新產品和新技術集中展示給廣大用戶，讓大家對於感興趣的領域有總體性了解，更多創新產品和更詳細內容見新品欄目。

　　光學顯微鏡是人類邁向微觀世界的第一步，光學顯微鏡價格便宜，操作簡單，但光鏡存在固有的局限，由於可見光波長的限制，其放大倍數只能達到1000倍左右。與光學顯微鏡相比電鏡用電子束代替了可見光，用電磁透鏡代替了光學透鏡，並使用螢光屏將肉眼不可見的電子束成像，其放大倍數可以達到幾十萬倍，解析度可達幾個納米。電子顯微鏡常用的有透射電鏡和掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡的電子束不穿過樣品，僅在樣品表面幾納米到幾十納米的區域激發出攜帶樣品表面信息的二級電子，然後將其轉換成圖像。而透射電子顯微鏡利用透過樣品的電子束來成像。

　　2012年公開發布的電鏡新品有7臺，其中四臺為傳統的大型掃描電子顯微鏡，推出新產品的廠商主要有日立、日本電子(JEOL)、韓國酷塞目(COXEM)、卡爾·蔡司。日立推出了鎢燈絲掃描電鏡，其最大的亮點是在低電壓、低真空下獲得極高的解析度。日本電子推出的新型熱場發射掃描電鏡，將解析度提高到新的極限，在15kV加速電壓下，解析度可達到1nm。韓國酷塞目採用計算機導航的馬達驅動控制樣品臺升降，提高了儀器操作的自動化程度。卡爾·蔡司推出了AURIGA COMPACT聚焦離子束電鏡系統新品，由電子束系統(SEM)和離子束系統(FIB)組成，具備高解析度成像功能，可以對材料實現高分辨三維納米尺度成像和精確的材料加工及納米組裝。

　　傳統大型電子顯微鏡有效放大倍數可以達到數萬倍，具有大景深，是當前材料科學、生物科學領域最常用的表徵手段之一，但其投資巨大，而且需要經過嚴格培訓的操作人員，使用不便。臺式掃描電鏡是一種全新的設計，其結合了光學顯微鏡與傳統掃描電鏡的優點。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數和大景深，同時體積小、操作簡便，價格相對較低。此類新型儀器的出現填補了光學顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡之間的間隙，可廣泛應用於材料科學、納米顆粒、生物醫學、紡織纖維、地質科學等諸多領域。2012年共有3臺臺式電子顯微鏡上市。主要廠商有Phenom-World、日本電子、Delong America公司。

　　Phenom-World首創了電鏡能譜一體化的臺式掃描電子顯微鏡。日本電子推出了即包含有二次電子探頭，又包含有背散射電子探頭的桌上型掃描電子顯微鏡，彌補了桌上型掃描電子顯微鏡只有背散射電子探頭，只能觀察成分像，不能觀察二次電子像的不足。Delong America公司推出的超小型透射電子顯微鏡，採用獨特的倒置式設計，體積僅為傳統透射電鏡1/10，價格僅為其1/3。

　　大型電鏡

日立SU3500鎢燈絲掃描電鏡

　　日立於2012年10月推出的SU3500屬於應用最廣泛、使用最經濟的鎢燈絲掃描電鏡。在加速電壓為3kV時，二次電子圖像解析度可達7nm;在加速電壓為5kV時，電子背散射圖像的解析度可達10nm。新設計的SU3500真空程序使真空度可達到650Pa。SU3500可變壓力模式允許對處於自然狀態下的潮溼、油膩和非導電樣品進行觀察。

日本電子JSM-7800F熱場發射掃描電鏡

　　JSM-7800F是日本電子2012年3月上市的一款高解析度的熱場發射掃描電鏡，它秉承了JEOL熱場發射掃描電鏡大束流(1pA到200nA/15 kV時)，高穩定性的傳統，將解析度提高到新的極限(1.5nm/1kV)，1.0nm/15kV)。電子槍壽命長，隨主機的第一根電子槍可以保證至少使用3年。全新設計的混合型物鏡，對樣品沒有局限性，任何種類的樣品都可以得到超高分辨圖片。

韓國酷塞目CX-200TM掃描電子顯微鏡

　　韓國酷塞目2012年12月推出了新型CX-200TM掃描電子顯微鏡，CX-200TM採用鎢燈絲電子槍，解析度：3.0nm(30kV，二次電子)、10nm(3kV，二次電子)、4.0nm(30kV，背散射電子) ;放大倍數：15x~300，000x;加速電壓 0.5kV~30kV 。渦輪分子泵真空系統，無需冷卻循環水機。採用計算機導航的馬達驅動控制樣品臺升降，在幾乎不增加費用的基礎上，給用戶的操作帶來極大方便。

　　卡爾·蔡司AURIGA COMPACT聚焦離子束電鏡系統

　　2012年8月，卡爾·蔡司在中國舉行了AURIGA COMPACT聚焦離子束電鏡系統全球首發儀式。AURIGA Compact GEMINI透鏡設計可以在FIB切割的同時同步高分辨成像，樣品的傾斜不會影響電子光學性能。AURIGA Compact具有的穩定性和效率，足以支持自動採集成百上千的EBSD剖面圖譜。CrossBeam工作站的ASP系統支持自動製備TEM樣品和進行斷面切割。卡爾·蔡司獨有的X2技術，可以製備面積較大薄片樣品，厚度小於10nm。　　　　　　

　　臺式電鏡

Phenom proX臺式掃描電子顯微鏡

　　Phenom-World公司在2012年3月發布最新產品Phenom proX，首創了電鏡能譜一體化的臺式掃描電子顯微鏡。該臺式掃描電鏡結合了表面成像功能和元素分析(能譜EDS)功能，可以準確的進行樣品表面元素的定性和定量分析。Phenom ProX的能譜儀EDS是針對臺式電鏡設計的，EDS 系統完全嵌入在電鏡主機中，利用半導體製冷，無需額外冷卻系統。Phenom proX採用CeB6燈絲，燈絲壽命可達1500小時;放大倍數：20×-45,000×;解析度：優於25nm;加速電壓：5/10/15kV 三檔;具有3D粗糙度重建、纖維統計測量，高倍拼圖等拓展功能。

日本電子JCM6000掃描電子顯微鏡

　　JCM6000是日本電子2012年9月推出的新產品，是目前市面上唯一一臺，即包含有二次電子探頭，又包含有背散射電子探頭的桌上型掃描電子顯微鏡。它的放大倍率可以到6萬倍，也是桌上型SEM中最高的，並且同時具備高低真空兩種模式。加速電壓：15kV / 10kV / 5kV3檔切換 (二次電子)、15kV / 10kV 2檔切換 (背散射電子);放大倍率：×10 ∼ ×60,000 (二次電子)、×10∼×30,000 (背散射電子)。

Delong America公司LVEM5臺式透射電子顯微鏡

　　Delong America公司2012年4月推出了LVEM5超小型透射電子顯微鏡，採用獨特的倒置式設計。體積僅為傳統透射電鏡1/10，價格僅為其1/3，徹底改變了透射電鏡體積龐大、使用複雜的不便性。該儀器將透射電鏡、掃描電鏡創造性的合為一體，在一臺儀器上實現了透射、電子衍射、掃描、掃描透射電鏡4種功能。採用特殊設計的倒置肖特基(Schottky)場發射電子槍，提供高亮度高相干的電子束。電子槍使用壽命可達2000小時以上。5kV低加速電壓使LVEM5對輕元素樣品的襯度顯著提高，觀察生物樣品無需染色。解析度：2nm(TEM)、3nm(SEM)。

　　關於申報新品

　　凡是「網上儀器展廠商」都可以隨時免費申報最新上市的儀器，所有經審批通過的新品將在儀器信息網「新品欄目」、「網上儀器展」、「儀器信息網首頁」等進行多方位展示;越早申報的新品，將獲得更多的展示機會。

撰稿編輯：秦麗娟

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