安捷倫推出全新一代高真空渦輪分子泵

　　近日，安捷倫發布了全新一代高真空渦輪分子泵 TwisTorr 704FS。作為一款加持了諸多「黑科技」的全新產品，TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵在具有高性能、高可靠性的同時，還能做到更經濟。

　　首先，高真空渦輪分子泵是什麼?

　　渦輪分子泵是一種用來獲取高真空的真空泵，典型的工作壓力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在極限狀態下，可以通過它實現 0.00000001Pa(大氣壓的十萬億分之一)的超高真空。渦輪分子泵可以用於各類質譜儀(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF)、鍍膜機、電子顯微鏡(SEM、TEM)、聚焦離子束系統(FIB)、表面分析儀器，高能物理實驗裝置、粒子加速器、高真空實驗裝置等諸多應用。

　　

　　高真空渦輪分子泵內有一個高速旋轉(每分鐘幾萬轉)的轉子，轉子上有渦輪和拖動級進行抽氣。隨著技術的不斷進步，市場不僅對泵性能的要求越來越高，更對其小型化、高可靠性、維護方便性及靈活易用性等都提出了更高的要求。下面就來看看，為了滿足這些要求，安捷倫最新的高真空渦輪分子泵都「加持」了哪些「黑科技」吧。

　　「黑科技」 No.1 TwisTorr 拖動技術

　　

　　通常的分子泵拖動級採用圓柱螺旋形的溝槽，而安捷倫 TwisTorr 技術把拖動級放在了薄薄的圓盤上，這樣就可以在有限的空間內集成多對拖動級轉子盤和定子盤，節省空間的同時又能提高效率和性能。

　　採用該技術的分子泵尺寸會更緊湊，並且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比(特別是對小分子氣體的高壓縮比)可以帶來更好的極限真空，而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵，從而降低了整個真空系統的成本和尺寸。

　　「黑科技」 No.2 AFS 安捷倫懸浮軸承技術

　　一般的渦輪分子泵的設計，泵的軸承是通過過盈配合與轉子及泵體軸承座緊密連接的，一旦泵體有振動或衝擊，這些振動就會傳遞到軸承，並且通過軸承傳遞到轉子。由於渦輪分子泵的軸承和轉子都在高速轉動，對振動特別敏感，傳遞到軸承的振動會影響軸承的壽命，傳遞到轉子的振動會造成轉子發生位移，甚至會與泵體或定子接觸。而一旦高速轉動的轉子與其它靜止的部分接觸，巨大的衝擊力會立即造成轉子葉片的破碎，整泵也隨之報廢。

　　

　　安捷倫 AFS 懸浮軸承系統，採用特殊的彈性材料隔離轉子與泵體，避免轉子和軸承受到從泵體傳來的衝擊;並且由於彈性材料的阻尼效應，可以吸收各種振動的能量，降低整泵的噪音和振動，保證最佳的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，最大程度減少系統停機時間，確保長時間工作的穩定性。

　　「黑科技」 No.3 特殊潤滑劑永久潤滑軸承

　　使用渦輪分子泵的高真空環境對潤滑油或潤滑脂非常敏感，因為在高真空環境下，潤滑油或潤滑脂非常容易汽化。一方面，這些油脂類的蒸氣會形成一種氣源，影響系統的真空度和純淨度;另一方面，這些蒸氣進入到真空腔體後，會冷凝附著在其它零件上，影響高真空系統內相關設備的工作。

　　

　　TwisTorr 704 FS 採用安捷倫與軸承廠家合作研發的特製軸承，能夠任意方向安裝;並且，由於其使用的特殊潤滑劑飽和蒸汽壓極低，正常使用時幾乎沒有損耗，使得該泵在整個壽命周期內都無需進行加注潤滑脂、更換油棉等維護。

　　「黑科技」 No.4 分子泵控制器 「3D」 控制軟體

　　早期的分子泵控制器又叫分子泵電源，其最重要的功能是向分子泵供電;後來，改進型的控制器具備了一定的保護功能，可以監控分子泵的功率和溫度，相當於為分子泵的工作狀態設置了一條紅線，分子泵只能在這條線以下工作(2D)，若超過這條線控制器就會報警停機。

　　

　　與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器，變被動保護為主動調整，可以根據不同的工藝條件，自動調整輸出功率和轉速，使泵在保證自身安全的同時，始終工作在一個達到最優性能的曲面上(3D)，達到最佳的氣載量和壓縮比。同時因為避免了分子泵超負荷運行，可以延長其使用壽命。

　　與 704FS 同時發布的還有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一個完整的系列。