等離子體是不同於固體、液體、氣體的物質第四態。物質由分子構成，分子由原子構成，原子由帶正電的原子核和帶負電的電子構成。當施以高能量後，電子離開原子核，這時，物質就變成了由帶正電的原子核和帶負電的電子組成的等離子體。
等離子處理系統看似「神秘」的等離子體其實並不罕見，最常見的等離子體是高溫電離氣體，如電弧、霓虹燈和日光燈中的發光氣體，還有太陽、閃電、極光等。等離子體在半導體工業、新能源行業、聚合物薄膜、材料防腐蝕、冶金、煤化工、工業三廢處理、醫療行業、LCD顯示屏組裝、航天航空等諸多領域具有廣泛應用，潛在市場價值每年近2000億美金。
閃電等離子體中帶電粒子間相互作用，性狀非常活躍，利用這種特性就可以實現各種材料的表面改性。
等離子體技術在表面工藝上的應用，主要用於以下幾方面。
1、等離子體表面處理：
為了提高刀具、模具等的性能，可以用等離子體對金屬表面進行氮、碳、硼或碳氮的滲透。這種方法的特點是，不是在表面加一覆蓋層，而是改變基體表面的材料結構及其性能。處理過程中，工件溫度比較低，不使工件變形，這對精密的部件很重要。這一方法可以應用於各種金屬基體，主要有輝光放電滲氮，氮碳共滲，滲硼。
2、等離子體用於材料表面改性：
改變潤溼性（又稱浸潤性）。一些有機化合物表面的潤溼性對顏料、墨、粘結劑等的粘結性，對於材料表面的閃絡電壓及表面漏洩電流等電性能，都有很大的影響。衡量潤溼性的量稱為接觸角。針對材料的不同處理會對接觸角有著不同的影響。
3、等離子體在電子工業中的應用：
大規模集成電路片心的生產工藝，過去採用化學方式，採用等離子體方法代替之後，不僅降低了工藝過程中的溫度，還因將塗膠、顯影、刻蝕、除膠等化學溼法改為等離子體幹法，使工藝更簡單，便於實現自動化，提高成品率。等離子體方法加工的片心解析度及保真度都高，對提高集成度及可靠性均有利。等離子體沉積薄膜用等離子體聚合介質膜可保護電子元件，用等離子體沉積導電膜可保護電子電路及設備免遭靜電荷積累而引起損壞，用等離子體沉積薄膜還可以製造電容器元件。
自動On-Line式AP等離子處理系統除了以上所述的等離子體技術的部分應用，等離子體技術在半導體工業、新能源行業、聚合物薄膜、材料防腐蝕、冶金、煤化工、工業三廢處理、醫療行業、LCD顯示屏組裝、航天航空等諸多領域具有廣泛應用，其前景之廣闊，令人矚目！