我們知道了等離子清洗機產生的等離子體屬於低溫等離子體中的冷等離子範疇，那麼低溫等離子體具有什麼特徵，在工業上又有哪些應用呢？
真空（低壓）等離子清洗機低溫等離子體在應用上具有兩個主要特徵：與常規的物理、化學的其他方法相比，等離子體具有更高的溫度和能量密度；等離子體能夠產生活性成分，從而引發在常規化學反應中不能或難以實現的物理變化和化學反應。活性成分包括紫外和可見光子、電子、離子、自由基團等；高反應性的中性成分，如活性原子（O、F等）；受激原子態；活性分子碎片，如單體。
低溫等離子體放電產生具有化學特性的微粒，這個顯著的特點被廣泛應用於材料表面改性。與傳統的工藝相比較，等離子體技術應用的優點包括：
①不會改變基體固有性能，改性作用僅僅發生在表面，約幾到幾十個納米，如半導體納米蝕刻。
②全程乾燥的處理方式（乾式法），無需溶解劑和水，幾乎不產生汙染，因而節約能源，降低成本。
③作用時間短，反應速率高，加工對象廣，能顯著提高產品質量。
④工藝簡單、操作方便，生產可控性強，產品一致性好。
⑤屬於健康型工藝，對操作人員身體無傷害。
由於有以上這些優點，低溫等離子技術被廣泛應用於諸多工業領域，而且越來越重要，尤其是低溫等離子材料表面處理技術在能源、物質與材料、環境、生化等多個行業起著關鍵作用。如圖所示
等離子體應用領域低溫等離子體技術是涉及表面物理化學、等離子體物理化學、反應工程學、放電技術、真空技術等領域的一門交叉學科。如圖所示
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