來源：中國經營報社
本報記者 陳佳嵐 廣州報導
去年以來，人們已經看到，光刻機是我國半導體被「卡脖子」的重要環節之一。正因如此，有關光刻機的一舉一動都能成為資本市場關注的焦點。
比如，有投資者5月底在互動易平臺上向大族雷射科技產業集團股份有限公司（以下簡稱「大族雷射」，002008.SZ）提問：「公司的紫外雷射能用到光刻機上嗎？」大族雷射方面回覆：「公司在研光刻機項目主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用，尚未實現銷售。」這樣的消息於6月14日被媒體擴散之後，足以帶動大族雷射股價在6月15日大漲7.24%。
兩天之後（6月17日），大族雷射方面在互動平臺回答投資者提問時又透露，在研光刻機項目解析度為3～5μm（微米），主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用，今年有望實現小批量銷售。截至目前，大族雷射自研的光刻機尚未實現銷售。此消息讓懂行的投資者冷靜，大族雷射股價在6月17日回調1.91%。
奧秘在於，很多投資者並不了解，此光刻機非彼光刻機。光刻機由於光源波長不同其解析度也不同，用於集成電路製造的最先進光刻機已經到5納米，國產集成電路光刻機可做到28納米，正在向14納米進發。分立器件、LED等需要的光刻機線寬不需要納米級，可能只需要微米級。半導體行業人士告訴《中國經營報》記者，所以大族雷射的光刻機不可能用在集成電路製造中，精度不高，難度也並不大。
對於雷射設備企業大族雷射為何做起了LED光刻機，記者致電大族雷射方面，其表示，這個項目目前還處於起步階段，暫時不接受採訪。
自研光刻機
大族雷射是一家提供雷射、機器人及自動化技術在智能製造領域的系統解決方案的高端裝備製造企業，業務包括研發、生產、銷售雷射標記、雷射切割、雷射焊接設備、PCB專用設備、機器人、自動化設備及為上述業務配套的系統解決方案。公司產品主要應用於消費電子、顯視面板、動力電池、PCB、機械五金、汽車船舶、航天航空、軌道交通、廚具電氣等行業的金屬或非金屬加工。
事實上，大族雷射布局光刻機的動作早有苗頭，早在去年就有網友發現大族雷射在招聘光刻機工作經驗的人才，甚至在職位任職資格上要求有國內光刻機的龍頭企業上海微電子裝備（集團）股份有限公司（以下簡稱「上海微電子裝備」）從業經驗的人才。
被稱為現代光學工業之花的光刻機解析度不同，其製造難度也相差甚大。以光刻機為代表的產品主要應用於四大領域：晶片製造、晶片先進封裝、LED製造、下一代顯示屏製造。另外還有類光刻機產品，包括雷射封裝、雷射退火等設備。同樣是光刻機，前道的產業化應用難度非常高。正因為高端光刻機的不斷突破，也不斷支撐著集成電路產業發展，這也使得晶片越做越小，集成的電路越來越多，終端越來越小。
光刻機最核心的部件是鏡頭和雷射光源，而在這兩項技術上，中國因起步晚，目前尚在追趕荷蘭、日本等國家。目前全球能生產5納米及以上的光刻機只有荷蘭的ASML（阿斯麥爾）一家企業，ASML掌握了極紫外光源技術，可以生產7nm及5nm的晶片。目前光刻機全球梯隊中，荷蘭ASML排名第一，是唯一一家可以生產EUV光刻機的廠家，其次是日本的佳能、康尼等公司，也可以獨立生產光刻機，但面對的市場是中低端晶片市場。佳能尼康也曾是光刻機市場的霸主，後被荷蘭的ASML超越。
在歐美日光刻機市場風雲變幻的數十年間，我國也在通過各種努力研製國產光刻機設備。20世紀70年代我國就開始有清華大學精密儀器系、中科院光電技術研究所、中電科四十五所等機構投入光刻機設備研製。目前，上海微電子裝備的90nm光刻機仍代表著國產光刻機最高水平，而其也只佔有低端光刻機市場。上海微電子裝備官網顯示，其目前量產的光刻機包括200系列光刻機（TFT曝光）、300系列光刻機（LED、MEMS、Power Devices製造）、500系列光刻機（IC後道先進封裝）、600系列光刻機（IC前道製造）。
較為低端的光刻機設備
儘管涉足光刻機產業，實際上大族雷射自研的光刻機應該是較為低端的光刻機設備。
「LED領域的光刻機線寬要求相比很粗，同時它只是做單層光刻就可以了，不像我們平常所說的集成電路（IC）光刻機那樣要通過多層光刻，因為集成電路光刻就像蓋樓一樣，蓋一層光刻一層。」陝西省半導體行業協會理事長何曉寧告訴記者，相較於集成電路光刻機，LED光刻機很簡單，它的線寬可能需要一個微米就差不多，更不要說納米了，而且目前國外也不限制國內生產的這類光刻機，國外限制傾向於集成電路光刻機。
儘管大族雷射研製的並非高解析度的光刻機，但何曉寧認為，大族雷射自研的光刻機，至少是光刻機國產替代進口，國產化的進程。
值得關注的是，在近段時間華為遭遇美國技術攔截，半導體進口替代需求迫切的背景下，光刻機作為製造集成電路的核心設備，也使得光刻機概念成為二級市場關注的焦點。
事實上，蹭上光刻機概念，股價就迅速拉升的例子在A股市場不算少。
6月5日，上海微電子裝備發布聲明稱，公司在之前90nm的基礎上，將在2021年至2022年交付國產第一臺28nm的immersion式光刻機，雖然與當前主流荷蘭的7nm晶片製備工藝還有大的差距，但也標誌著國產光刻機的飛躍進步，在逐漸減少與荷蘭ASML公司的差距。消息一出，資本市場迅速做出了反應，與上海微電子裝備相關的企業張江高科、上海電氣，在6月5日雙雙漲停，張江高科在6月8日開盤再次漲停。
6月11日，晶方科技在互動平臺上稱，荷蘭光刻機製造商ASML為晶方科技參與併購的荷蘭Anteryon公司的最主要客戶之一，股價就衝擊漲停。
有媒體報導，一再聲稱沒有參與大股東長春光機所的光刻機研發項目的奧普光電，在5月下旬收穫多個漲停也因蹭上了光刻機概念。
由此可見，光刻機在二級市場的反響有多大。
而目前階段，大族雷射想做LED光刻機，上海微電子裝備在這一領域市佔率第一。
對於雷射設備企業大族雷射為何涉足LED領域的光刻機、雄心有多大，大族雷射方面表示尚不方便披露更多信息。
財報顯示，2019年大族雷射實現營收95.63億元，同比下降13.30%，已連續2年下降；歸屬於上市公司股東的淨利潤為6.42億元，同比下降62.63%。對於業績的大幅下滑，大族雷射方面表示：「由於消費電子行業大客戶設備需求周期性下滑及中美貿易摩擦引起的部分行業客戶資本開支趨于謹慎的影響，公司訂單較同期有所下降，部分客戶訂單存在延期交付，公司營業收入較上年度下降13.30%。」而5G通訊基礎建設相關業務強勢增長。
營收下降的大族雷射，似乎也想要跟風分拆上市。6月1日，大族雷射宣布將授權公司經營層啟動分拆子公司境內上市前期籌備工作。大族雷射方面表示，根據公司總體戰略布局，結合深圳市大族數控科技有限公司業務發展需要，為進一步拓寬公司融資渠道，啟動分拆上市籌備工作。
（編輯：李正豪 校對：顏京寧）