9月22日，大族雷射科技產業集團股份有限公司（下稱「大族雷射」，002008）在互動平臺回復投資者關於是否會和荷蘭阿斯麥合作研發光刻機技術時表示，公司光刻機項目解析度3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的應用。
大族雷射表示，公司和荷蘭阿斯麥公司沒有合作。荷蘭阿斯麥（ASML）是全球領先的半導體行業光刻系統供應商，負責設計和製造光刻機。
此外，在回復投資者關於公司三季度訂單情況時，大族雷射稱，公司三季度訂單充足，產能利用率情況良好。公司應用於第三代半導體的設備已經實現批量銷售。
大族雷射1996年創立於深圳，是亞洲最大、世界排名前三的工業雷射加工設備生產廠商，主要產品包括雷射打標機系列、雷射焊接機系列、雷射切割機系列、新能源雷射焊接設備、雷射演示系列、PCB鑽孔機系列、工業機器人等多個系列200餘種工業雷射設備及智能裝備解決方案。
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