超高真空鍍膜機的清洗處理是非常重要的，鍍膜機的清洗處理是否到位，將直接影響到極限真空環境的獲得。使用良好的清潔處理工藝比之一般的清洗處理工藝，其設備材料的出氣率要低了幾個數量級。
比如說不鏽鋼材料的真空設備，它長期不斷在大氣中暴露，不進行任何清洗、去油處理、烘烤處理的話，其在抽氣一小時後約為2x10[Pa·m/（s·m）］的出氣率；若做了去油處理，不做烘烤處理，其在抽氣四小時後可到1 x 10[Pa·m（s· m）］的出氣率；如果去油後，再做清洗，又在250C的溫度之下烘烤十五個小時的話，即可降到1 X 10[Pa·m/（s·m）］的出氣率，可以發現，其出氣率下降了近五個數量級之多。
廣東振華真空設備通常需要做烘烤處理，對超高真空環境的獲得來說，真空烘烤是不可缺少的工藝。一套合格的真空設備的設計，若少了烘烤措施，也沒有其它相關措施的處理的話，那麼不管配置任何類型的真空泵（如擴散泵、低溫泵、濺射離子泵、渦輪分子泵等）做抽氣處理，最終獲得的工作壓力也就大概在10Pa-10Pa這個數量級之間，頂多可達極限真空10Pa的量級，想要再高的真空度那就是天方夜譚。
針對於不鏽鋼，加速出氣的方法有兩種是最有效的：
1、在400C溫度下的空氣中烘烤；
2、在800C-950C下的真空環境烘烤。
烘烤處理工藝需要在2700Pa壓力下的純氧環境中進行，才能減少烘烤過程中存在水蒸氣影響到材料表面的可能，此外，還需明確真空烘烤應在10Pa下進行，才能讓材料中的氫濃度降低到我們需要得到的最低限度。
超高真空鍍膜機在烘烤時應注意溫度的控制，不同種類的材料的烘烤溫度不一樣：普通金屬材料的溫度控制範圍在300C-450C之間；非金屬材料是在80C-100C溫度範圍的控制；玻璃材料在140C-300C的溫度範圍之間控制；銅墊圈的烘烤溫度控制在450C之內；金屬陶瓷密封烘烤溫度不應超過400C。