晶體矽光伏電池設備之溼製程設備

2020-12-05 OFweek維科網

　　Manz為晶體矽太陽能電池的製造提供了創新開發的溼製程方案。第一步包括去磷矽玻璃以及刻蝕除邊等製造步驟。在這方面，Manz集團利用了關注溼製程設備製造超過20年的亞智科技相關經驗和技術。亞智科技是印製電路板和平板顯示器製造溼製程設備領域的市場領先者（已經安裝了超過2，000臺設備），是電子和平板顯示器行業的市場領先者。

　　Manz創新的溼製程設備特點如下：

　　應用柔軟的海綿輥和最小化基板壓力概念，實現最低破片率

　　6個水道配置實現了每小時4，800片矽片的高產量（矽片尺寸：156×156mm）

　　高度的工藝安全和穩定性

　　易操作的觸摸式圖形界面(GUI)

　　與Manz高度集成的SpeedPicker系統兼容

　　優化總擁有成本

　　化學品消耗量更少

　　隨著新的溼製程設備IPSGCEI4800的問世，Manz提供更為完善的製程解決方案，用來去除矽片背面和邊緣的重摻雜層，從而形成化學除邊(CEI)。在接下來的處理步驟中，將去除矽片正面上剩餘的磷矽酸鹽玻璃(PSG)層，而該層是在先前的擴散過程中形成的。

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