測定半導體車間中粒度分布的CW-RPC系列在線式空氣顆粒計數器

2021-01-10 深圳賽納威

智能製造自動化生產在社會工業化中佔據著舉足輕重的地位，集成電路、半導體、顯示面板等行業也逐漸成為我國新的支柱型產業，一方面這非常有利於獲取高額的行業利潤，但另一方面我國信息技術發展面臨著高端晶片等核心產品技術受制於人、信息領域的基礎理論正處於拐點期等挑戰，中國企業也需要加把勁舉行科技研發，相信在不久的將來中國也能有屬於自己的半導體家當生態鏈。

集成電路及半導體工業發展迅速

近年來我國半導體工業發展迅速，但半導體晶片的生產過程中卻使用了太多以往不曾使用的各種特殊材料氣體，這些氣體所具有的危害性非常多，比如自燃性、助燃性、自行分解性、窒息性等，尤其是其毒性一般非常強；另外這些氣體中有許多對人體有害的物質，其中易燃易爆的特殊材料氣體例如矽烷洩漏後易引起火災爆炸事故的發生。因為這些氣體多在潔淨室內具有密封性的環境中使用，所以半導體器件生產除了要求恆溫恆溼外，對生產環境潔淨度的要求也很嚴，比如需要根據按單位體積重規定的塵埃粒子數標準分成的潔淨度等級來設計本企業生產半導體電子元器件的無塵車間。

所謂半導體電子潔淨車間，指的是潔淨度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算，國際標準IOS14644-1、國標GB50073-2013、美聯邦標準中均有規定潔淨室和潔淨區內空氣以大於或等於被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。在潔淨車間的工藝製造過程中，通過對關鍵區域的環境粒子精確測量並計數來保證高品質是比較重要的一點，雷射粒子計數器就是潔淨環境監測的重要手段，對於研究、檢測和評價各種潔淨環境都十分方便，在精密儀器製造、藥品生產和半導體電子等多個行業有著廣泛的應用。

遠程在線式塵埃粒子計數器原理

簡單來說，塵埃粒子計數器是用來測量潔淨環境中單位體積內塵埃粒子數和粒徑分布的儀器，其基本原理就是光學傳感器的探測雷射經塵埃粒子散射後被光敏元件接收並產生脈衝信號，該脈衝信號被輸出並且放大，然後進行數位訊號處理，通過跟標準粒子信號進行比較，將對比結果用不同的參數表示出來。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關，但是以散射光強度和微粒大小而言，有一個基本的規律，就是微粒散射光的強度隨著微粒的表面積增加而增大。這樣一定流量的含塵氣體通過一束強光，讓粒子發射出散射光，經過聚光透鏡投射至光電倍增管上，將光脈衝變為電脈衝，由脈衝數可求得顆粒數。根據粒子散射光的強度和粒徑的函數關係可得出粒子直徑。這樣只要測定散射光的強度就可以推知微粒的大小，這就是光散射式粒子計數器基本原理。

粒子計數器由顯微鏡發展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、雷射空氣粒子計數器、PCS納米雷射空氣粒子計數器的過程，其中因雷射空氣粒子計數器測試速度快、動態分布寬、不受人為影響等各方面的優勢，而成為很多行業的主流產品。深圳賽納威就是一家專業從事環境檢測儀器及環境監測治理系統開發和製造的高科技企業，擁有由留美博士、碩士和光機電及軟體工程師組成的一流研發團隊，公司早期開發的淨化車間專用塵埃粒子計數器系列產品和氣體檢測儀器系列產品已經在國內外市場上佔據了較高的市場份額，幫助大量用戶實現了「高效便捷」的工作目標，並一直在努力為客戶創造長期價值。

塵埃粒子計數器及遠程監控系統

賽納威研發生產的多通道遠程遙測雷射塵埃粒子計數器及遠程監控系統是智能多點淨化檢測系統的終端設備，該系列儀器性能設計先進、質量穩定可靠，不僅可以為用戶提供實時準確地遠程測量所監控環境的微粒數量和淨化等級，還能根據不同需要增加或減少控制終端，實現7*24實時遠程自動監測，通過RJ45網絡接口、WiFi、485（moudbus）等，將數據送給PC終端，顯示當前監測環境的潔淨狀況，該系列產品已被廣泛應用於計算機室、醫療器械生產環境、醫院潔淨手術室、汽車噴塗、製藥、生化製品、食品衛生、精細化工、精密機械和航空航天等生產和科研部門，是製藥企業及其監督管理部門貫徹GMP規範及電子生產企業的首選儀器。

該粒子計數器按照國際標準ISO14644-1,GMP和日本工業標準（JIS）要求標定，一次採樣可同時測得多個粒徑通道的塵埃粒子數，並可同時觀察到多個粒徑通道粒子的數目及其變化情況，可以滿足醫藥行業(製藥廠、藥檢所、醫院手術室等)、電子行業(半導體工廠、精密機械的生產加工等)、食品衛生行業(乳製品、塑封肉食品、調味食品、農產品等的精加工)、過濾器生產廠家、檢驗過濾器的質量及效率等、光學、航空航天等領域的精加工、精密試驗所需的潔淨室(區)等的檢測需要，是一款不可多得的專業應用於電子行業、製藥車間、半導體、光學或精密機械加工等潔淨室環境自動監測系統的高科技儀器。

多通道遠程雷射塵埃粒子計數器產品簡介

CW-RPC系列遠程遙測雷射塵埃粒子計數器是智能多點淨化檢測系統的終端設備，可以為用戶提供實時準確地遠程測量所監控環境的微粒數量和淨化等級，並能根據不同需要增加或減少控制終端，實現7*24實時遠程自動監測，通過RJ45網絡接口、WiFi、485（moudbus）等，將數據送給PC終端，顯示當前監測環境的潔淨狀況。

多通道遠程雷射塵埃粒子計數器功能指標

同時對兩個通道粒徑進行採樣監控

採樣模式：累積/差分/濃度

自動遠程現場超限報警

RJ45接口高速數據傳輸

POE供電或6~9V直流適配器供電

POE自動識別終端的合法性和安全性

ROE自動供電與自動斷電的智能機制

7/24連續遠程監測

多通道遠程雷射塵埃粒子計數器技術特點

相關焦點

  • 半導體行業產業相關企業潔淨室用在線式粒子計數器
    該粒子計數器按照國際標準ISO14644-1,GMP和日本工業標準（JIS）要求標定，專業應用於電子行業、製藥車間、半導體、光學或精密機械加工等潔淨室環境自動監測系統。企業潔淨室用在線式粒子計數器發展粒子計數器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器，由顯微鏡發展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、雷射空氣粒子計數器、凝結核粒子計數器、多通道多功能粒子計數器等過程， 廣泛應用於為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等權威機構、電子行業、製藥車間
  • 對車間的粒子濃度知根知底!賽納威塵埃粒子計數器RPC600體驗
    最近幾年國家對於環保這塊比較重視，空氣和水都變得比較重要，所以我們經常看到很多廠家都開始詢問自家公司哪一塊需要改進，以助於提高生產環境質量。上個月我有幸接觸了一款賽納威生態鏈粒子計數器的新產品，雖然外觀和特殊的小巧家用設備不能比，不過勝在實用、對口，相關客戶可是滿意的緊。他們家目前研發出的產品有甲醛檢測儀、PM2.5檢測儀、工地揚塵傳感器，還有今天分享的這款在線式遠程粒子計數器RPC600，都是高精度、高科技的環保前沿產品。
  • 在線式塵埃粒子計數器測量半導體潔淨室懸浮粒子潔淨度
    另外潔淨室也叫潔淨車間、無塵車間、淨化車間，總之都是指在一定的空間範圍內，採用專業的淨化設備對該空間空氣中的微粒子、細菌、有害空氣汙染行進行淨化排除，達到無塵無菌淨化效果。而塵埃粒子計數器是測量潔淨車間單位體積內微粒數和粒徑分布的檢測儀器，廣泛應用潔淨室測量其環境潔淨度是否滿足生產。微粒子傳統測量辦法是通過人工進入潔淨室採用塵埃粒子計數器進行定時定點進行監測並記錄。
  • 機械車間都在看!深圳賽納威雷射塵埃粒子計數器,高精度
    科學技術在發展，很多工業產品的生產加工對於生產環境提出了高標準，比如生產精密機械的產品車間必須具有一定的空氣潔淨等級以及控制生產過程所需各類相關物質的供應質量。我之前了解的一家客戶是生產膠片的，說如果膠片受到了塵埃的汙染，就將會發生乳劑氧化、活性減弱、PH值變化等，從而影響膠片的感光性能。
  • 微小懸浮顆粒物粒子計數器ParticleCounter
    通過空氣潔淨度等級表我們可知四個等級的空氣中的微米塵粒數及取樣因此當在生產車間裡，空氣中的懸浮顆粒存在各種形式，有動物的皮屑，植物的花粉，空氣中浮遊的細菌，還有一些顆粒物等。為了更準確的識別和診斷獲取環境中的粒子汙染信息，以確認潔淨工廠環境是否滿足潔淨室等級標準，必須使用塵埃粒子計數器。粒子計數器是利用光的散射原理進行塵粒計數來測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器。
  • 用於潔淨室粒子濃度檢測的塵埃粒子計數器使用方法及注意事項
    現在有很多精密機械、航空航天、電子製造等行業的生產環境對車間的潔淨度等級要求都比較高，比如半導體行業的製程技術正在快速發展，不僅晶片線寬已經進入了納米級，相關聯的產品對半導體產品生產環境的要求也是越來越高，要求所在生產車間必須達到對應的潔淨等級才可以進行投入使用。
  • 塵埃粒子計數器的使用方法及注意事項
    塵埃粒子計數器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器，由顯微鏡發展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、離心沉降儀、沉降儀、顆粒計數器、雷射空氣粒子計數器、凝結核粒子計數器、多通道多功能粒子計數器等過程，目前 廣泛應用於為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等權威機構、電子行業、
  • 塵埃粒子計數器助力藥企實時監測空氣中的粒子數
    【製藥網 產品資訊】塵埃粒子計數器是一種用於測量清潔環境中單位體積粉塵顆粒數量和粒度分布的儀器，廣泛應用於醫藥、電子、精密機械等領域。 　　其基本原理是雷射探測光學傳感器被光敏粒子散射和塵埃粒子散射後，產生脈衝信號和放大信號作為輸出，然後對數位訊號進行處理，並與標準粒子信號進行比較。
  • 手持式塵埃粒子計數器塵埃粒子檢測儀怎麼看
    作為一種用於檢測潔淨環境中單位體積內塵埃粒子數目及其分布的儀器，其具有檢測速度快、測量精度高、可靠性高、使用靈活度高、測量性能穩定等優點，被廣泛應用於為血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等權威機構、電子行業、製藥車間、半導體、光學或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫院、環保、檢驗所等生產企業和科研部門。
  • 半導體潔淨車間檢測粒子濃度等級儀器
    潔淨車間在施工單位完成之後，甲方都行需要進行驗收的，驗收的時候就涉及到這個檢測潔淨度，看潔淨度是否達到要求。今潔淨度檢測是潔淨車間性能測試的核心，氣流測試、壓力測試等都只能在確認潔淨車間的潔淨度不受影響後才能正常進行。潔淨車間潔淨度檢測使用塵埃粒子計數器，可以選用光散射粒子計數器、凝結核粒子計數器、電子顯微鏡和光學顯微鏡，但目前用得較多的是光散射粒子計數器。
  • 粒子計數器的分類及原理
    粒子計數器由顯微鏡發展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、雷射空氣粒子計數器、PCS納米雷射空氣粒子計數器的過程，其中因雷射空氣粒子計數器測試速度快、動態分布寬、不受人為影響等各方面的優勢，而成為很多行業的主流產品。
  • 氫氟醚顆粒計數器在清潔度檢測中的應用
    PMT－2氫氟醚顆粒計數器（雲創版）是英國普洛帝分析測試集團在原有產品基礎上升級的一款新型油液顆粒計數器，利用普洛帝光阻測量和光散測量兩項顆粒監測技術，結合國內外380多個國家及行業標準，加入普洛帝油液監測雲系統，PMT－2氫氟醚顆粒計數器（雲創版）成為電子半導體顆粒檢測行業的創新型顆粒計數器設備。
  • 塵埃粒子計數器為空氣潔淨度評定提供依據
    生產環境安全潔淨就要保證我們的生產車間潔淨無塵，要保證生產車間潔淨無塵就要用到我們的塵埃粒子計數器來計量塵埃粒子的多少。塵埃粒子計數器塵埃粒子計數器用來測量空氣中微粒數量和大小，這個結果可以為空氣潔淨度的評定提供依據，被廣泛應用到醫藥、電子、精密機械、彩管制作、微生物等行業中，完成對各種潔淨等級的作業臺、潔淨室、淨化車間的淨化效果、潔淨等級進行監控
  • 粒子計數器種類及原理
    大部分粒子計數器採用的都是近紅外或紅色雷射;直到最近，這還都是最符合經濟效益的選擇。藍色氣體和半導體雷射器價格都很貴;而且半導體雷射器的使用壽命也很短。　　空氣粒子計數器　　在傳感器的出口處有一個真空裝置，把空氣經過傳感器抽走。而空氣中的粒子則將雷射散射。
  • 這個塵埃粒子計數器不錯,終於知道賽納威粒子計數器憑啥這麼火了
    說起車間剛建立的時候，那時候還不知道應該選哪家的塵埃粒子計數器比較好，手上沒有粒子計數器車間也不能開展正常的工作，所以我就開始在網上尋找一款合適的、新款的塵埃粒子計數器，當然除了可以檢測正常的數據外，對於溫度、溼度以及日期這些簡單的數據肯定也是要能檢測並精確的，最後當然如果能遠程的更好了。
  • 高效空氣過濾器檢漏測試案例的探討
    一、儀器 　　塵埃粒子計數器 　　二、實驗原理 　　應用光散射原理，計數測定時利用光電倍增管接受塵埃粒子反射的光以測定其大小和數量，並加以分析累計及數字顯示。 　　三、實驗方法 　　3.1環境條件：溫度控制在18—26℃;相對溼度控制在45—65%。
  • 雷射空氣粒子計數器的工作原理
    大部分粒子計數器採用的都是近紅外或紅色雷射；直到最近，這還都是最符合經濟效益的選擇。藍色氣體和半導體雷射器價格都很貴；而且半導體雷射器的使用壽命也很短。      空氣粒子計數器       圖3所示的粒子計數器是使用傳感器的典型設計；氣流、雷射、以及聚光鏡彼此成直角。        在傳感器的出口處有一個真空裝置，把空氣經過傳感器抽走。而空氣中的粒子則將雷射散射。散射光又會被後面的聚光鏡聚焦到光學探測器上，隨後把光轉換成電壓信號，並且進行放大和濾波。
  • 半導體雜質檢測難?半導體專用ICP-MS來幫你!
    NexION系列半導體專用ICP-MS在高矽基體的樣品分析中採用強勁的高溫等離子體，大大降低了信號漂移。ICP-MS在反應模式下測定半導體有機溶劑中的含鐵納米顆粒 》SP-ICP-MS技術測定化學-機械整平(CMP)中使用的元素氧化物納米顆粒懸浮物的特性
  • 塵埃粒子計數器流量大小有什麼影響?
    粉塵顆粒計數器根據不同規格分類：1.根據檢測原理：光散射檢測（白光，雷射），顯微檢測，稱重法檢測，DMA方法檢測（粒度分析儀），慣性方法檢測，分散方法檢測，凝集核方法檢測（CNC）等。3，按形狀，尺寸：可攜式，手持式，在線式。4.根據測試通道：單通道（僅測量一種粒徑）;雙通道（測試兩種??粒徑）;多通道（測試多個粒徑）。5.其他：雷射塵埃粒子計數器的應用領域空氣中的粒子在光的照射下散射，這種現象稱為光散射。光散射與粒子大小，光波長，粒子的折射率和粒子對光的吸收特性有關。