上海理想萬裡暉薄膜張津巖:打破壟斷,實現PECVD中國造

2020-11-22 索比光伏網

9月6日，由中國光伏行業協會主辦，Solarbe索比光伏網、智新研究院承辦的2019中國國際光伏技術論壇(CITPV)分論壇——電池技術論壇異質結專場在杭州舉行。上海理想萬裡暉薄膜設備有限公司工藝執行總監張津巖介紹道，理想萬裡暉研製的PECVD設備打破了該領域設備一直被國外廠商壟斷的局面，實現高端裝備中國造。

2017年10月理想萬裡暉順利完成首臺SHJ用量產型PECVD產品發貨，打破了國外供應商的壟斷，成為國內新建SHJ產線的首選PECVD供應商。張津巖指出，高端PECVD裝備的核心優勢一是在於抽屜式反應腔，可放入不同型號的設備工藝共享，研發工藝可直接導入量產設備大規模生產。不同的產業化設備，可以使用同樣的反應腔。從研發中試線的研發開始到產業化的過程，均可以用同樣的設備，工藝條件和工藝程序可以共享，抽屜式的設備可以用不同的型號設備和工藝直接導入大規模生產當中去。另一個優勢是雙真空反應腔，反應腔體變小，上下極板同時加熱，不易產生熱漂移，不易產生顆粒物或者灰塵，清理徹底，無需開腔維護氣體消耗小。

2018年，理想萬裡暉的PECVD中標100MW異質結項目，戰勝了許多歐美日的一流半導體設備大公司。其競爭對手包括美國應材、歐洲梅耶博格、日本真空。2019年1月中標某公司100MW異質結項目，2019年4月29日理想萬裡暉首臺SHJ疊層PECVD設備正式啟運，6月20日第一片電池出片，效率達23%。

2019年5月，上海理想萬裡暉薄膜設備有限公司獲得A輪投資。2019年6月20日，首臺雙層HJT量產型PECVD設備生產的SHJ電池下線成功，轉換效率達到23%。PECVD團隊累計承擔國家科技部863、上海市戰略新興重大產業等6項科研項目，申請超過50項國內外專利，填補多項國內空白，奠定國內高端PECVD設備第一的地位。

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