半導體知識:蝕刻(Etch)工藝講解

2021-01-19 中國半導體論壇


 

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    蝕刻種類:　　答：(1)幹蝕刻(2)溼蝕刻　　蝕刻對象依薄膜種類可分為:　　答：poly,oxide,metal半導體中一般金屬導線材質為何?　　答：鵭線(W)/鋁線(Al)/銅線(Cu)　　何謂dielectric 蝕刻(介電質蝕刻)?
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